磁気援用微細研磨装置及び磁気援用微細研磨方法

開放特許情報番号

L2006004334

開放特許情報登録日

2006/7/14

最新更新日

2008/11/21

基本情報

出願番号	特願2005-337065
出願日	2005/11/22
出願人	国立大学法人宇都宮大学
公開番号	特開2007-136637
公開日	2007/6/7
登録番号	特許第4185987号
特許権者	国立大学法人宇都宮大学
発明の名称	磁気援用微細研磨装置及び磁気援用微細研磨方法
技術分野	機械・加工、電気・電子
機能	機械・部品の製造、洗浄・除去
適用製品	磁気援用微細研磨装置
目的	被研磨特性の異なる領域が混在する被研磨面であっても、研磨の偏りを極力なくすことができ、被研磨面の微細研磨を可能とする磁気援用微細研磨装置及び磁気援用微細研磨方法を提供する。
効果	この磁気援用微細研磨装置又は方法は、ウエハの歪み、ウエハ厚さの不均一、保持部材にウエハを固定した際の傾斜ばらつき等の様々な不均等要因を有するウエハのような、硬度、展性、脆性又は化学的性質等に代表される被研磨特性が異なる微細領域が混在する被研磨面を、均一且つ良好な表面に研磨することができる。
技術概要	図１は磁気援用微細研磨装置の一例を示す模式的な構成図である。図２は磁気援用微細研磨装置の他の一例を示す模式的な部分構成図である。磁気援用微細研磨装置１０は、図１に示すように、研磨対象物１を保持する保持部材１２と、その保持部材１２に保持された研磨対象物１の被研磨面２に対向し、且つその被研磨面２との間に所定の間隙Ｓを設けて配置された第１の磁石１４と、保持部材１２と第１の磁石１４とを、被研磨面２にほぼ平行な仮想平面２ａ内で相対的に回転及び／又は水平振動させる第１の駆動手段１６と、被研磨面２と第１の磁石１４との間隙Ｓに、磁性砥粒、磁性粒子を含有する研磨砥粒、及び磁性砥粒若しくは前記研磨砥粒を含有する研磨スラリーから選ばれる研磨材５を供給する研磨材供給手段１８とを少なくとも備えるものである。複数の磁石棒を用い、被研磨面２側の磁極を同じにした場合には、図２に示すように、個々の磁石棒を互いに離隔して配置し、それらを固定具２８で束ねた構造とすることが好ましい。図３は研磨材の一例を示す模式的な断面図である。
イメージ図
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【可】
特許権実施許諾	【可】

アピール情報

導入メリット

【改善】 改善効果１ この磁気援用微細研磨装置又は方法を銅ダマシン配線の形成工程に適用すれば、部分的な圧延等の変質の発生を防ぐことができ、また、配線用トレンチ内の銅配線が研磨されるのを防いで、平坦さが損なわれるのを防ぐことができる。また、被研磨面に強い摩擦圧力が加わらないので、配線形成に利用される絶縁層等に亀裂等の破損が生じる恐れがなく、例えば誘電率に関する所望の特性を有する有望な絶縁層素材を採用することも可能である。 改善効果２ また、この磁気援用微細研磨装置及び方法を銅ダマシン配線の形成方法に適用すれば、銅研磨工程において、ウエハ全面にわたって強い圧力を掛けることなく銅研磨を過不足なく行うことができるので、銅配線のやせ細り等を減少させることができる。その結果、ＩＣ製品の歩留向上、信頼性向上、それに伴うコストダウン、化学薬液の不使用による環境にやさしいプロセス等を実現することができる。 改善効果３ この磁気援用微細研磨装置又は方法の特徴である大きな押圧を伴わない研磨装置又は方法は、非常に薄い層の研磨を制御よく行うことができ、また、強い圧力による研磨法が適用できなかった素材に対する研磨を可能とすると共に、広範なナノレベル研磨への応用も可能となる。

登録者情報

登録者名称	宇都宮大学

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】