プラズマ蒸着装置

開放特許情報番号

L2006004322

開放特許情報登録日

2006/7/14

最新更新日

2011/8/12

基本情報

出願番号	特願2005-154901
出願日	2005/5/27
出願人	国立大学法人宇都宮大学
公開番号	特開2006-328490
公開日	2006/12/7
登録番号	特許第4774510号
特許権者	国立大学法人宇都宮大学
発明の名称	プラズマ蒸着装置
技術分野	機械・加工
機能	表面処理
適用製品	プラズマ蒸着装置、大気中プラズマ蒸着装置
目的	大気中で、所望の蒸着原料を用いた蒸着を行うことができるプラズマ蒸着装置を提供する。
効果	大気中における蒸着が可能となり、蒸着原料として金属、非金属を問わずに用いることができ、対象物に様々な原料を積層する蒸着塗装を行うことができる。
技術概要	図１に示すプラズマ蒸着装置１は、円筒形状のケーシング６内にリング状または円筒状電極３と棒状電極２と高圧電源１９とを有し、リング状または円筒状電極３と棒状電極２との間に高圧電源１９による所定の電圧を印加することによって、円筒状電極３と棒状電極２との間に放電を発生させ、放電の熱によって蒸着原料１５、１７を蒸発させてプラズマ化し、このプラズマを対象物に向けて噴出することによって対象物に対する蒸着原料の蒸着を行うプラズマ蒸着装置である。図２はその断面図である。円筒状電極３と棒状電極２との間に放電を発生させたとき、棒状電極２の中空内部にガスを通過させることによって棒状電極２の先端を冷却する構造を持つことも出来る。図３は第１の支持部材１０で、貫通孔１１を通過したガスはさらに貫通孔１２を通過して先端へと進む構造を有す。ガス流がスムーズに先端方向に向かい、棒電極２を中心として回転するガス流が形成され、蒸着原料１５、１７の周辺の雰囲気を撹拌することができ、効率よく混合プラズマを生成する。図４のようにプラズマ蒸着装置１を複数備えたマルチ型のプラズマ蒸着装置１００とすることも出来る。
イメージ図
実施実績	【無】
許諾実績	【無】
特許権譲渡	【可】
特許権実施許諾	【可】

アピール情報

導入メリット	【改善】 改善効果１ プラズマ蒸着によるきめ細かい蒸着塗装を行うことができるので、対象物の表面にてきめ細かく蒸着可能で対象物に対する接着力が強く、塗装面から剥がれにくくなる。蒸着対象の対象物の塗装面の材質や凹凸具合などを問わず、自在に蒸着塗装を行うことができる。 改善効果２ 異なる原料の複数の蒸着原料を同時に用いてその混合物を対象物に蒸着させることができ、従来は不可能であった新材料の蒸着塗装を行うことができる。 改善効果３ 蒸着原料を装着しない状態でプラズマによる塗装面の清掃を行うことができ、より接着力が強い蒸着塗装を行うことができる。

登録者情報

登録者名称	宇都宮大学

その他の情報

関連特許	国内 【無】 国外 【無】