| 出願番号 |
特願2005-040478 |
| 出願日 |
2005/2/17 |
| 出願人 |
国立大学法人宇都宮大学 |
| 公開番号 |
特開2006-226811 |
| 公開日 |
2006/8/31 |
| 登録番号 |
特許第4825966号 |
| 特許権者 |
国立大学法人宇都宮大学 |
| 発明の名称 |
粗動微動位置決め装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
粗動微動位置決め装置 |
| 目的 |
位置決め時間を短縮すると同時に高精度な位置決めを可能にする粗動微動位置決め装置を提供する。 |
| 効果 |
この粗動微動位置決め装置によれば、従来実現できなかった粗動・微動動作を複合して行うことが可能となり、かつ、従来よりも高速で位置決め動作を完了できる。これにより、半導体産業、工作機械、バイオケミカル産業等の産業界において、位置決め時間の短縮により、生産性向上や測定評価時間の短縮の実現が期待できる。 |
技術概要
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ナットを介してテーブルに接続された送りねじと、入力軸と出力軸が同軸上に配置された減速機であって送りねじの一端に出力軸が接続された減速機と、減速機の入力軸に接続された微動送り用のモータと、出力軸が貫通した中空であって中空部に前記減速機のケーシング部を同軸上に嵌着保持した粗動送り用の中空モータと、を備えた粗動微動位置決め装置である。また、粗動微動位置決め装置において、減速機は波動歯車減速機であることが好ましい。粗動微動位置決め装置は、図１および図２に示すように、マニュアルノブ付ステッピングモータ１、波動歯車減速機４（ＨＤ）を回転軸に取付けた中空ステッピングモータ２、ボールネジ駆動機構３から構成される。ＨＤ４の出力軸はボールネジ駆動機構３にカップリングにより接続されている。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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