| 出願番号 |
特願2006-109891 |
| 出願日 |
2006/4/12 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2007-287730 |
| 公開日 |
2007/11/1 |
| 登録番号 |
特許第4803589号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
インプリント装置 |
| 技術分野 |
生活・文化 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
インプリント装置 |
| 目的 |
シリコン基板とモールドとの相対的な傾斜に対して、両者を平行にしてインプリントを行う際、テーブルやモールドに相対的な回転や前後方向の移動を生じることなく、正確にインプリントを行うことができるようにする。 |
| 効果 |
インプリント装置におけるシリコン基板とモールドとの相対的な傾斜に対応して、シリコン基板を支持するテーブルのテーブル支持装置と、モールドを支持するモールド支持装置のいずれかの傾斜を調節して両者を平行にしてインプリントを行う際、テールブル全体を上下動させてもテーブルやモールドに相対的な回転や前後方向の移動を生じることなく、正確にインプリントを行うことができるようにしたインプリント装置とすることができる。 |
技術概要
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図１に示すようにシリコン基板３３とモールド３２の相対的な傾斜に対応するため、シリコン基板３３を支持する支持テーブル３１と、モールドを保持するモールド保持テーブル３６のいずれかを傾斜することにより両者を平行に保つことができるため、支持テーブル３１の傾斜対応のテーブル支持装置３５と、モールド保持テーブル３６との両者に適用することができる。図２に示すようにモールドまたは基板を保持するテーブル４を３本の伸縮可能な傾動しない支柱１、２、３により支持するテーブル支持装置５において、テーブル４には各支柱に対応してスライド溝１４を備えたスライド支持部材１２を設ける。スライド溝１４は１点で交わる方向に延び、支柱はスライド溝に嵌合するスライダに揺動自在に支持される。任意の支柱を伸縮することによりテーブル４は所定の傾斜に対応させることができ、その後全ての支柱を等量伸縮することによりテーブルを平行に上下動することができる。この装置はモールドを下方に保持し、或いは基板を上方に支持するテーブルに適用できる。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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