フローセンサ

開放特許情報番号
L2006004081
開放特許情報登録日
2006/7/7
最新更新日
2006/7/7

基本情報

出願番号 特願2003-408639
出願日 2003/12/8
出願人 大阪府、コフロック株式会社
公開番号 特開2005-172445
公開日 2005/6/30
発明の名称 フローセンサ
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 フローセンサ
目的 取り付け姿勢に制限を受けることなく、分流構造としても対流を起こすことなく、かつ小型化を実現し得るフローセンサを提供する。
効果 流路のU字の平行部分に、それぞれ1組の発熱形式の薄膜抵抗体を配置することで、垂直置きにし、流れ無しの場合でも、検出部周辺で温められた流体の垂直方向に移動する力が平衡するので、センサ流路にバイパスなどの流路が並設されても、対流による循環流が起こらない。また、この姿勢において、平行部分双方の薄膜抵抗体組合せの検出出力を加算することにより、双方の流量感度は倍増し、双方の対流による出力誤差は相殺される。
技術概要
薄膜基板上に形成された検出を行う薄膜抵抗体の1個又は複数個の組合せを検出流路内に設置して、流体の薄膜抵抗体に対する熱作用を検出するフローセンサにおいて、検出流路を、薄膜基板の平面部を流路に含んでU字状に形成し、このU字状の互いに平行な流路部分の平面部分に、それぞれ1組の薄膜抵抗体を設置したフローセンサである。U字状流路の平行部分に設置された2組の薄膜抵抗体は、形状あるいは発熱量を熱的に等しく形成し、その検出出力は互いに加算するようにしたフローセンサである。図1、図2、図3は、フローセンサ1の概略構成を示す図であり、図1はフローセンサ1の正面図、図2は同フローセンサ1の裏面図、図3は図1のX−X’で切断した断面図である。図4はフローセンサの薄膜抵抗体の接続回路例を示す回路図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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