磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法

開放特許情報番号
L2006003888
開放特許情報登録日
2006/6/23
最新更新日
2015/11/9

基本情報

出願番号 特願2004-272519
出願日 2004/9/17
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2006-084449
公開日 2006/3/30
登録番号 特許第3926356号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 磁気力顕微鏡用の磁性探針
目的 高い空間分解能を有する磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法を提供する。
効果 この磁気力顕微鏡用の磁性探針及びその製造方法によれば、10nm以下の空間分解能までも実現可能な交換スプリング機構を利用する磁気力顕微鏡用の磁性探針を提供することができる。従って、現行の記録密度100Gb/in↑2を超える高密度磁気記録媒体の微細な磁気ビットの磁化方向の変化並びに磁区構造等の観察が可能となる。
技術概要
図1は、磁性探針が適用される磁気力顕微鏡を利用する垂直磁気記録媒体中の保磁力分布を解析する解析装置を示すブロック図である。図1において、符号100は、磁場印加機能を有した磁気力顕微鏡を示し及び符号200は、その自由端に探針202を設けた非磁性体で作られた磁気力顕微鏡の探査部としてのカンチレバーを示している。このカンチレバー200は、ピエゾ素子4に振動可能に支持され、カンチレバー先端の探査針202は、試料6上に配置されている。試料6の保磁力分布が解析される磁区観察モードでは、この探針202は、磁区の磁力に応じて作用力を受ける必要があることから、強磁性特性を有し、試料6の表面形状、即ち、凹凸を解析する形状観察モードでは、探針202は、試料6及び探針202間に働く磁力以外の作用力、例えば、原子間力を受ける必要があることから、非磁性材で作られた金属片等が利用される。従って、カンチレバー200は、ピエゾ素子4から、或いは、ピエゾ素子4とともに装置から取り外し可能に構成され、観察モードに応じたカンチレバー200に交換することができる。図3は(a)〜(d)は、図2(a)に示す磁性探針の製造方法を概略的に示す斜視図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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