マイクロ加工方法およびマイクロ加工装置

開放特許情報番号
L2006003824
開放特許情報登録日
2006/6/16
最新更新日
2006/6/16

基本情報

出願番号 特願2004-150725
出願日 2004/5/20
出願人 学校法人同志社
公開番号 特開2005-329511
公開日 2005/12/2
発明の名称 マイクロ加工方法およびマイクロ加工装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ加工装置
目的 マイクロメートルオーダーの成形および転写加工を高速度かつ高精度で行うことのできる加工方法を提供する。
効果 液中放電によって生じる衝撃波を利用して、極めて高速度で被加工物の変形を行うため、表面転写性や、成形品の寸法精度の高い加工を行うことができる。また、水圧を利用して成形を行うため、切削による微細加工のように精密な工具等を必要とせず、加工装置の耐久性の点でも優れている。更に、被加工材および成形型または転写型を液を満たした密閉室の上部に配置し、上向きの衝撃波によって成形を行う構成としたことにより、成形の際に型と被加工材の間に存在する空気が抜けやすくなり、該空気による成形のムラを防止することができる。
技術概要
マイクロ加工装置を図1に示す。マイクロ加工装置10は、キャップ13と、成形型または転写型11を保持する型ホルダ14、被加工材である金属素板(ブランク)12を押さえて変形によるしわの発生を防止するためのリング状のしわ押さえ板15、ブランク12およびしわ押さえ板15を保持するためのブランクホルダ16、バネ17、液体22を収容するための密閉容器18、補助ピストン19、電極20、および電極間に設けられた金属細線(導細線)21を備えている。密閉容器18の素材にはS45C鋼材を使用し、密閉容器18はO−リング27によってシールした。圧力媒体として用いる液体22としては、放電により発生する衝撃波、および高温・高圧ガスの圧力エネルギを効率よくブランク12に伝達し、かつ成形後の除去が容易な水を用いることが望ましい。また、電極20は、エネルギ効率や放電の安定性などの点から、電極間20に設けた導細線21に通電させる方式を用いることが望ましいが、導細線21を設けず間隙放電を行う方式を用いることもできる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 学校法人同志社

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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