| 出願番号 |
特願2005-270889 |
| 出願日 |
2005/9/16 |
| 出願人 |
国立大学法人 筑波大学 |
| 公開番号 |
特開2007-078660 |
| 公開日 |
2007/3/29 |
| 登録番号 |
特許第4461257号 |
| 特許権者 |
国立大学法人 筑波大学 |
| 発明の名称 |
電子放出分布測定装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
電子放出分布測定装置 |
| 目的 |
走査型トンネル顕微鏡などにおいて、高分解能電子放出分布の測定も可能な電子放出分布測定装置測定方法を実現する。 |
| 効果 |
走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）などの探針と試料との間に流れる電流を検出し、制御するＳＴＭに簡単な回路を付加するだけで、高分解能の電子放出分布とその絶対値の測定が可能となる。しかも、この回路は、通常のＳＴＭに追加するだけで新たな改造を特別加えることなく目的の機能を実現することができる。 |
技術概要
 |
探針と、探針を試料に対して移動させるピエゾ素子と、試料にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加回路と、探針と試料との間を流れる電流を電圧変換するプリアンプと、プリアンプの出力側に順次設けられたＳＴＭ制御回路と、を備えた走査型トンネル顕微鏡において、プリアンプとＳＴＭ制御回路との間にサンプルホールド回路を設けてなる電子放出分布測定装置である。図２に示すように、探針６と、探針６を試料７に対して移動させるピエゾ素子と、試料７にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加回路と、探針６と試料７との間を流れるトンネル電流を電圧変換するプリアンプ１０と、プリアンプ１０の出力側に順次設けられたＳＴＭ制御回路３と、を備えており、プリアンプ１０とＳＴＭ制御回路３との間にサンプルホールド回路２２を設け、ＳＴＭ像を計測（作成）するとともに、電子放出分布像を計測（作成）する。図１は、原理を説明する図であり、ａはトンネル電流の概念図で、ｂは電子放出電流の概念図、図２ａは、電子放出分布測定装置の回路ブロック図であり、ｂはその一部の詳細図、図３は、ＳＴＭ計測用の回路系と電子放出分布計測用の回路系を説明する図である。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
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