マイクロチャネル構造体の製造方法、マイクロチャネル構造体、およびマイクロリアクタ

開放特許情報番号
L2006003009
開放特許情報登録日
2006/4/14
最新更新日
2007/8/10

基本情報

出願番号 特願2005-330717
出願日 2005/11/15
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-136292
公開日 2007/6/7
発明の名称 マイクロチャネル構造体の製造方法、マイクロチャネル構造体、およびマイクロリアクタ
技術分野 その他
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロチャネル構造体、およびマイクロリアクタ
目的 有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造する方法とその方法により製造されたマイクロチャネル構造体およびマイクロリアクタを提供する。
効果 流路となる溝部を塞ぐことなく、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である基板同士を、接着シートを用いて容易に接着することができる。したがって、有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造する方法を提供することができる。また、この方法により製造されたマイクロチャネル構造体およびマイクロリアクタを提供することができる。
技術概要
図1(a)はマイクロチャネル構造体10の概略構成を示す横断面図であり、図1(b)はマイクロチャネル構造体10の概略構成を示す縦断面図である。マイクロチャネル構造体10の製造方法は、まず、第1基板1の第1基板表面2に微細機械加工やエッチング加工などの方法によって溝部6を形成する。次に、第1基板表面2と第2基板5の第2基板表面4とが対向するように位置決めする。そして、両基板1・5の間に接着シート3を挿入し、両基板と接着シート3とを密着させる。その後、熱融着などの方法を用いて第1基板1と第2基板5と接着シート3とを融着させる。これにより、少なくとも1つの包囲された溝部6すなわちマイクロチャネルを有するマイクロチャネル構造体を製造することができる。このとき、接着を確実に行うために、第1基板1と第2基板5と接着シート3とを重ねた後、治具などにより加圧することが好ましい。マイクロチャネル構造体10をマイクロリアクタ20として利用するためには、図2に示すように、第1基板1もしくは第2基板5のいずれか一方、または第1基板1および第2基板5の両方に、外部から溝部6・7に通じる液体の流通孔8を設ければ良い。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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