大型セラミックス構造体、その製造方法及びセラミックス部材

開放特許情報番号
L2006002999
開放特許情報登録日
2006/4/14
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2005-325567
出願日 2005/11/10
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-131483
公開日 2007/5/31
登録番号 特許第4771256号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 大型セラミックス構造体、その製造方法及びセラミックス部材
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 大型セラミックス構造体、及びセラミックス部材
目的 例えば、液晶パネル等の大型化に対応するため、その製造に必要とされるステージ等として大型で高い比剛性率(ヤング率/密度の比)を有するセラミックス構造体及びその部材、及びそれらの製造が比較的容易で、欠陥部分が生じた場合の作り直しの要する費用が少なく、また、非破壊検査も容易である等、製造リスクの少ないセラミックス構造体及びその部材、及びその製造方法を提供する。
効果 大型で高い比剛性率を有するセラミックス構造体及びその部材を比較的容易に製造し、提供できる。また、欠陥部分が生じた場合の作り直しの要する費用が少なく、また、非破壊検査も容易であり、それにより、歩留りの高い製造プロセスを構築できる。また、液晶パネルや半導体製造に使用されるXYステージ等の高い剛性を持ち、軽量で大型、かつ高精度のセラミックス部材として有用である。また、セラミックス構造部材の短期の製造及び提供が可能となる。さらに個々のユニットのサイズは小さいので小さな成形設備を用いて大きな部品を作ることができる。
技術概要
最終構造体を分割した形状で構成されるユニット体を組み立てて、焼成、一体化してなるセラミックス構造体であって、多孔質のユニット同士の結合部分がはめ合い構造を有し、結合部分がセラミックススラリーを介在して密着、接合され、最終構造体として一体化されている、セラミックス構造体である。また、構造体のサイズの1辺が、1000mmを超える大型部材であるセラミックス構造体である。また、構造体の焼結後における骨格部分をなす材料の平均ヤング率(単位はGPa)に対する、部材全体の重量を体積で割った値(見かけ密度、単位は:g/cm↑3)の比が、200以上で、平均剛性率をかさ密度で割った値が、100以上であるセラミックス構造体である。セラミックス構造体からなり、部材が、フォトレジストあるいは半導体製造プロセスに使用されるステージ、テーブル、又はガイドであるセラミックス部材である。図1、図2は、加圧鋳込み成形機を用いて作製した、夫々V字突起、逆テーパ突起、を有する成形体ユニット及びユニットを組み立て、一体化した部材の概観を示す。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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