レーザ加工装置

開放特許情報番号
L2006002753
開放特許情報登録日
2006/3/31
最新更新日
2006/3/31

基本情報

出願番号 特願2001-230280
出願日 2001/7/30
出願人 松下電器産業株式会社
公開番号 特開2003-048091
公開日 2003/2/18
登録番号 特許第3587805号
特許権者 松下電器産業株式会社
発明の名称 レーザ加工装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 レーザ穴明け装置、レーザ発振器
目的 プリント基板の穴明け加工において、加工したい形状に応じて使用するマスクの種類(径)を選択して加工物への照射ビーム径を変えるが、コリメータレンズ間隔を変えてマスクへの照射ビーム径を変え、エネルギーの通過率を調整する。この時、コリメータ通過後のレーザビームの発散の影響を緩和し、大口径加工や小口径加工における加工品質の確保できるレーザ加工装置の提供。
効果 コリメータレンズとマスクの間にコリメータレンズよりも焦点距離の長い第一のレンズを1枚挿入すると、コリメータレンズ通過後のレーザ光の発散が緩和され、光路途中でのエネルギー損失が減少するため、レーザ発振器出口出力が同じでも加工点においてより高いエネルギーまたはエネルギー密度が確保できる。また、加工点での結像状態が改善される。このように、マスク通過後のレーザビームの発散を抑えて光路途中からのはみ出しを防止し、加工穴径によらず安定した加工品質の確保を図ることができる。
技術概要
この技術のレーザ加工装置は、レーザ光を出力するレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザ光の径を可変する複数のレンズからなるコリメータと、レーザ発振器から被加工物へ導くレーザ光路の中で被加工物とコリメータの間に配置されコリメータ通過後のレーザ光を通過させるパターンを有するマスクとを備え、コリメータとマスクとの間に、コリメータのレンズの焦点よりも焦点距離が長い第一のレンズを、レーザ光路に対して移動自在に設ける。コリメータレンズとマスクの間にコリメータレンズよりも焦点距離の長い第一のレンズを1枚挿入すると、コリメータレンズ通過後のレーザ光の発散が緩和され、光路途中でのエネルギー損失が減少するため、レーザ発振器出口出力が同じでも加工点においてより高いエネルギーまたはエネルギー密度が確保できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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