| 出願番号 |
特願2004-083735 |
| 出願日 |
2004/3/22 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2005-274630 |
| 公開日 |
2005/10/6 |
| 登録番号 |
特許第4385126号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
全固体型調光ミラー光スイッチ |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
マグネシウム薄膜、光通信ネットワーク |
| 目的 |
イオンストレージ層、固体電解質層、プロトン注入層及び調光層を積層した、多層構造を有し、電気信号によりガラス表面を鏡状態から透過状態へ可逆的に変化させることで信号光の経路を変化させることができる全固体型調光ミラー光スイッチの提供。 |
| 効果 |
本技術の全固体型調光ミラー光スイッチ素子は、機械式やＭＥＭＳ方式のスイッチのような信頼性の低下につながる可動部がなく、また、光導波路方式の屈折率を変化させることでもなく、物性変換を応用して、反射から透過へと可逆的に光の進行方向を変えることができるので、非常に有利である。 |
技術概要
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この技術は、透明な基材に多層薄膜を形成した調光ミラー光スイッチ素子であって、基材の上に、イオンストレージ層、固体電解質層、プロトン注入層、及びマグネシウム・ニッケル系合金薄膜を用いた調光ミラー層を形成する。即ち、イオンストレージ層として、遷移金属酸化物薄膜を形成し、固定電解質層として、イオンストレージ層の上に、透明酸化物薄膜を形成し、プロトン注入層として、固体電解質層の上に、パラジウムもしくは白金を含む層を形成し、調光ミラー層として、プロトン注入層の上に、マグネシウム・ニッケル系合金薄膜を形成する。ここで、マグネシウム・ニッケル系合金は、Ｍｇ↓ｘＮｉ（０．１＜ｘ＜０．３）である。そして、イオンストレージ層と調光ミラー層間に、電圧を印加もしくは電流を流すことにより、電気的に光の反射及び透過をコントロールする。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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