圧電素子の製造方法および圧電素子

開放特許情報番号
L2006000836
開放特許情報登録日
2006/2/24
最新更新日
2010/2/19

基本情報

出願番号 特願2002-383247
出願日 2002/12/16
出願人 マイクロストーン株式会社
公開番号 特開2004-200622
公開日 2004/7/15
登録番号 特許第4446268号
特許権者 マイクロストーン株式会社
発明の名称 圧電素子
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 圧電素子
目的 複雑な電極構成を要求される圧電素子であっても、分極処理に要するプローブの数を減らすことができるようにし、かつ分極後の特性のバラツキをなくし、また治具の構造簡素化や低廉化、圧電素子の小型化を図ることのできる圧電素子の製造方法を提供する。
効果 最終形状の電極が複雑な形状であっても分極電圧を与えるプローブ数を減少させ、プローブの接触状態従って圧電特性を安定化させうる。またプローブの少数化と共に位置精度を緩め、治具の構造を簡素化し製作を容易化する。この効果は多数個取りや小型の治具において著しい。またこの製造方法を適用する圧電素子の片面だけを用いて分極処理と電極分割を行えるようにしたことで効果を更に向上することができる。
技術概要
図1は圧電素子に最終的な電極が形成された状態の上面図、図2は圧電素子の分極処理時の上面図である。図2に示すように分離溝12によって分割された連結電極膜13および14は、それぞれ各電極膜のうち、分極方向を同じくする電極膜2、4、7、8、9、10の群および3、5、6電極膜群を分割せずに各電極膜の隙間を埋め連続させた形状に形成したものである。この状態で下面電極膜11に対して連結電極膜13、14に逆極性の電圧を加えれば、合計僅か2本のプローブを電極膜に当てるだけで圧電素子板1に必要な分極処理を行うことができる。しかも連結電極の面積は広いので、プローブの当たり位置の精度もさほど要求されないから、分極治具は極度に簡素化され、その製造は容易になる。分極処理されたままでは圧電素子を加速度センサとして使用できないので、更に電極を分離する加工を行う。分離加工は電極膜面にレーザー光を照射して電極膜を溶融焼却し飛散させて行う。図1にその分離加工部15(斜線のハッチングを記入してある部分)の形状を示す。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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