| 出願番号 |
特願2006-512917 |
| 出願日 |
2005/2/18 |
| 出願人 |
国立大学法人金沢大学 |
| 公開番号 |
WO2005/108912 |
| 公開日 |
2005/11/17 |
| 登録番号 |
特許第4779119号 |
| 特許権者 |
国立大学法人金沢大学 |
| 発明の名称 |
可視化センサ |
| 技術分野 |
情報・通信 |
| 機能 |
検査・検出、制御・ソフトウェア |
| 適用製品 |
可視化センサ |
| 目的 |
真空状態を用意する必要がなく、小型でかつ簡易な構成により物体の可視化を実現可能な可視化センサを提供する。 |
| 効果 |
物体との距離を算出し、物体の可視化を実現する場合に、真空状態を用意する必要がなく、物体に電子線を照射する必要もないため、生体物質を生きたまま観察できる。また、高度な雑音対策や機械制御が必要なく、光や電子線の光学系も必要ないから、小型で、簡易な構成により物体の可視化を実現できる。また、ミクロンからサブミクロン領域における物体の可視化が可能となり、走査電子顕微鏡等と同等な解像度を得ることができる。 |
技術概要
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アンテナ電極８は、物体との間で静電容量を有するキャパシタの電極である。発信器２は、物体とプローブアレイ１の１点であるアンテナ電極８との間の距離をキャパシタの静電容量として捉え、静電容量に応じた周波数ｆ２の信号を発振する。発信器３は、常に固定周波数ｆ１の信号を発振する。ミキサ４は、周波数ｆ２と固定周波数ｆ１の信号とを入力し、乗算処理して、ｆ↓１、ｆ↓２、ｆ↓１-ｆ↓２、ｆ↓１+ｆ↓２、２ｆ↓１、２ｆ↓２の信号を出力する。フィルタ５は、ミキサ４から入力した信号を除去し、周波数ｆ↓１-ｆ↓２の信号のみを出力する。カウンタ６は、フィルタ５から入力した周波数ｆ↓１-ｆ↓２の信号のカウントを行い、単位時間当たりの周波数ｆ↓１-ｆした２を算出する。ＰＣ７は、カウンタ６からカウント値を入力し、これに基づき物体とプローブアレイ１におけるアンテナ電極８との間の距離を算出する。物体とプローブアレイ１におけるアンテナ電極８との間の距離を、アンテナ電極毎に算出することにより、プローブアレイ１から見た物体の形状を画像化すことができる。 |
| 実施実績 |
【試作】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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