可視化センサ

開放特許情報番号
L2006000813
開放特許情報登録日
2006/2/24
最新更新日
2011/8/12

基本情報

出願番号 特願2006-512917
出願日 2005/2/18
出願人 国立大学法人金沢大学
公開番号 WO2005/108912
公開日 2005/11/17
登録番号 特許第4779119号
特許権者 国立大学法人金沢大学
発明の名称 可視化センサ
技術分野 情報・通信
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア
適用製品 可視化センサ
目的 真空状態を用意する必要がなく、小型でかつ簡易な構成により物体の可視化を実現可能な可視化センサを提供する。
効果 物体との距離を算出し、物体の可視化を実現する場合に、真空状態を用意する必要がなく、物体に電子線を照射する必要もないため、生体物質を生きたまま観察できる。また、高度な雑音対策や機械制御が必要なく、光や電子線の光学系も必要ないから、小型で、簡易な構成により物体の可視化を実現できる。また、ミクロンからサブミクロン領域における物体の可視化が可能となり、走査電子顕微鏡等と同等な解像度を得ることができる。
技術概要
アンテナ電極8は、物体との間で静電容量を有するキャパシタの電極である。発信器2は、物体とプローブアレイ1の1点であるアンテナ電極8との間の距離をキャパシタの静電容量として捉え、静電容量に応じた周波数f2の信号を発振する。発信器3は、常に固定周波数f1の信号を発振する。ミキサ4は、周波数f2と固定周波数f1の信号とを入力し、乗算処理して、f↓1、f↓2、f↓1-f↓2、f↓1+f↓2、2f↓1、2f↓2の信号を出力する。フィルタ5は、ミキサ4から入力した信号を除去し、周波数f↓1-f↓2の信号のみを出力する。カウンタ6は、フィルタ5から入力した周波数f↓1-f↓2の信号のカウントを行い、単位時間当たりの周波数f↓1-fした2を算出する。PC7は、カウンタ6からカウント値を入力し、これに基づき物体とプローブアレイ1におけるアンテナ電極8との間の距離を算出する。物体とプローブアレイ1におけるアンテナ電極8との間の距離を、アンテナ電極毎に算出することにより、プローブアレイ1から見た物体の形状を画像化すことができる。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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