アルミニウム又はアルミニウム合金の微細加工方法

開放特許情報番号
L2006000706
開放特許情報登録日
2006/2/10
最新更新日
2015/10/5

基本情報

出願番号 特願2003-291750
出願日 2003/8/11
出願人 独立行政法人物質・材料研究機構
公開番号 特開2005-060764
公開日 2005/3/10
登録番号 特許第4284408号
特許権者 国立研究開発法人物質・材料研究機構
発明の名称 アルミニウム又はアルミニウム合金の微細加工方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 アルミニウム又はアルミニウム合金の微細加工システム
目的 Inを2at%〜20at%含有する液体状のGa−In合金をアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に付着させ、Ga−In合金が付着した箇所のアルミニウム又はアルミニウム合金を剥離させるアルミニウム又はアルミニウム合金の微細加工方法を提供する。
効果 有害な廃液を出さずにアルミニウム又はアルミニウム合金を微細加工することができ、剥離したアルミニウム又はアルミニウム合金の破片及びGa−In合金は、回収、分離後に再利用することができる。また、エッチング溶液を使用する場合に比べ、加工制御が良好である。
技術概要
Inを2at%〜20at%含有する液体状のGa−In合金をアルミニウム又はアルミニウム合金の表面に付着させ、Ga−In合金が付着した箇所のアルミニウム又はアルミニウム合金を剥離させる;剥離したアルミニウム又はアルミニウム合金の破片とともに残留しているGa−In合金を除去し、アルミニウム又はアルミニウム合金の破片とGa−In合金とを回収する;剥離が生じたアルミニウム又はアルミニウム合金を水又は有機溶媒中に投じた後、アルミニウム又はアルミニウム合金の破片とGa−In合金とを回収する;アルミニウム又はアルミニウム合金の微細加工方法である。図1はアルミニウム箔にGa−In合金を付着させた直後の状態を写した写真、図2は剥離したアルミニウムの破片及びGa−In合金を除去した後のアルミニウム箔を写した写真である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT