| 出願番号 |
特願2005-108081 |
| 出願日 |
2005/4/4 |
| 出願人 |
国立大学法人 筑波大学 |
| 公開番号 |
特開2006-286548 |
| 公開日 |
2006/10/19 |
| 登録番号 |
特許第4797158号 |
| 特許権者 |
国立大学法人 筑波大学 |
| 発明の名称 |
イオン電流量計測器 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
イオン電流量計測器 |
| 目的 |
数ｋｅＶ程度のエネルギーを持つプラズマイオンを計測することができ、印加電圧を小さく抑え、かつ小型化が可能なイオン電流量計測器を提供する。 |
| 効果 |
静電遮蔽手段（例えば、静電遮蔽グリッド）を電極板とコレクターとの間に設けることによって電極板側を粒子軌道偏向部とし、コレクター側をイオン捕集部とすることができ、入射電子、二次電子の影響を抑制した正確なイオン計測を可能とした簡易構造であって、電位分布とコレクター構造を最適化する事が可能となり、小型化を可能にしたイオン電流量計測器 を提供することができる。 |
技術概要
 |
図に示すように、電極板２とコレクター３との空間に電極板側に粒子軌道偏向部を形成し、コレクター３側にイオンイオン捕集部を形成する静電遮蔽グリッド５を設け、電極板２にプラス電圧が、そして静電遮蔽手段４にマイナス電圧を印加する手段を有して、入射イオンと平行方向の外部磁場によりコレクターから発生する二次電子を回収する。入射するプラズマの送出部の１部を形成するコリメータ１、コリメータ１に近接して電極板２およびコレクター３並びに静電遮蔽手段４を構成する静電遮蔽グリッド５を備える。静電遮蔽手段４は、電極板２とコレクター３との間の空間に配置される静電遮蔽グリッド５とこの静電遮蔽グリッド５を保持する箱形の保持ボックス６とから構成される。コレクター３は箱形形状に形成され、保持ボックス６の内部に収納され、上面が開いた形状とされる。入射プラズマに対して電極板２と静電遮蔽グリッド５を平行に設置し、この間に電場を形成してイオンと電子の軌道偏向を行う。電極板に正の電圧を印加するとイオンが、負の電圧を印加すると電子がグリッド側に偏向される。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【可】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)