キャパシタンス温度計

開放特許情報番号
L2006000269
開放特許情報登録日
2006/1/27
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2005-309199
出願日 2005/10/25
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-120948
公開日 2007/5/17
登録番号 特許第4686759号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 キャパシタンス温度計
技術分野 その他
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 キャパシタンス温度計
目的 ストロンチウム原子に対するカルシウム原子の置換量を0.01以上0.07以下とする多結晶チタン酸ストロンチウムからなる誘電体を有するコンデンサのキャパシタンスを検出することにより、温度測定を行うキャパシタンス温度計を提供する。
効果 多結晶チタン酸ストロンチウムのストロンチウム原子に対するカルシウム原子の置換量を0.01以上0.07以下とすることによって、低温で強誘電特性を出現させ、かつ高い温度感度S=ΔC/ΔT、高い絶対感度Sd=(T/C)ΔC/ΔTを有する、温度分解能の優れたキャパシタンス温度計を実現することができる。また、多結晶チタン酸ストロンチウムは作製が容易である。
技術概要
図1はキャパシタンス温度計の作成工程を示す図である。同図に示すように、まず、SrCO↓3(99・99%)、TiO↓2(99.9%)CaCO↓3(99.99%)を原料粉として化学量論組成で計量し、ボールミルで120分間、湿式混合し、1323Kで12時間の仮焼を行う。その後、粉砕、混合を行い、ペレットに成形し、1623Kで6時間の本焼を行う。その後、酸素を十分に結晶中に導入するため1273Kで5時間、酸素中で熱処理を行う。その後、作成された誘電体上に金電極を形成するため、メタルマスクを用いて、直流スパッタを行い、キャパシタンス温度計を得る。図2は金電極が施されたコンデンサからなるキャパシタンス温度計の構成を示す図である。図に示すように、このキャパシタンス温度計の金電極の幅は100μmであり、両電極は左右よりくし型状に配置され、その間の隙間は100μmである。誘電体の分極はこの隙間部が担うことになる。図3はキャパシタンス温度計を用いた温度測定装置の構成を示す図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 ↑3Heで希釈された冷凍機等で使用することが可能となる。また、磁場の大きさによって温度が変化しないキャパシタンス温度計を実現することができる。
改善効果2 温度ヒステリシスを有しないキャパシタンス温度計を実現することができる。また、両面に電極が形成される平行平板コンデンサと異なり、一面にくし型電極を形成することにより、他面を測定対象と密着させることができるので、より一層精密な温度計測が実現できる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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