真円度測定方法

開放特許情報番号
L2006000258
開放特許情報登録日
2006/1/27
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2005-303094
出願日 2005/10/18
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-113947
公開日 2007/5/10
登録番号 特許第4706061号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 真円度測定方法
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 真円度測定システム
目的 従来のマルチステップ法の解析方法を改良し、厳密に成分分離できる方法を提供する。
効果 成分の除去が可能となるため、真円度測定機及び測定器物の高精度な評価が可能となる。「位相組み合わせ法」を用いることにより、少ないステップ数の実験データから高ステップ数の実験と同等の結果を導くことが出来るため、高精度な評価が短時間の測定で可能となる。
技術概要
図1は真円度測定機における真円度測定システムの模式図を示す。真円度測定の解析に広く使われている方法にマルチステップ法がある。図1は測定器物としてガラス球の場合を示している。測定器物の表面に対して検出器を接触させて、測定器物の表面の半径方法凹凸を検出しながら1回転走査することにより1回の測定器物表面の真円度測定データを取得する。この手法を、検出器の測定開始位置に対する測定器物の測定開始位置をずらして、円周上等間隔に複数m回の測定器物表面の真円度測定によりm個の測定データを取得し、同様に円周上等間隔に複数n(n≠m)回の真円度測定によりn個の測定データを取得する。m個の各測定データとその平均値の差のデータを求め真円度の解析を行うときのmの整数倍のフーリエ成分の和のデータと、n個の各測定データについての同様のフーリエ成分の和のデータとを用いて、各々のデータの不足分を抽出して相互に補完する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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