薄膜結晶の極性の判定方法

開放特許情報番号
L2006000168
開放特許情報登録日
2006/1/20
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2005-257418
出願日 2005/9/6
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-071621
公開日 2007/3/22
登録番号 特許第4452807号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 薄膜結晶の極性の判定方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 結晶の極性、結晶の表裏、基板上の薄膜結晶の極性を判別、バルク結晶の極性の判別方法
目的 異常散乱を利用したX線回折は非破壊的に結晶の極性を判別することができるが、基板上に形成された薄膜結晶の極性の判別には、用いられていなかったことに鑑みた、簡便で非破壊的に薄膜結晶の極性を判別する手段の提供。
効果 簡便で非破壊的に薄膜結晶の極性を判別することができる。
技術概要
この技術では、O極性面を有する試料とZn極性面を有する試料を用意し、X線回折実験を行い、2つの試料に対して、それぞれ、2θ↓1における回折強度と2θ↓2における回折強度の比を求める。但し、異常分散を示す2θ↓0に対して、θ↓2<θ↓0<θ↓1である。縦軸に、回折強度の比をとり、横軸に膜厚をとり、2つの試料に対して、それぞれ、回折強度の比をプロットし、それを通る直線を求める。こうして、O極性面に対する検量線と、Zn極性面に対する検量線が求められる。測定対象の薄膜結晶に対して、2θ↓1における回折強度と2θ↓2における回折強度の比を求め、それがO極性面に対する検量線とZn極性面に対する検量線のいずれかの上に乗るかを調べる。回折強度の比がO極性面に対する検量線上にあれば、測定対象の薄膜結晶の表面はO極性面であると判定する。回折強度の比がZn極性面に対する検量線上にあれば、測定対象の薄膜結晶の表面はZn極性面であると判定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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