ファブリ・ペロー干渉計を用いた屈折率測定装置

開放特許情報番号
L2006000131
開放特許情報登録日
2006/1/20
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2005-242946
出願日 2005/8/24
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-057376
公開日 2007/3/8
登録番号 特許第4411412号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 ファブリ・ペロー干渉計を用いた屈折率測定装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 濃度管理、医療品の品質管理、半導体リソグラフ
目的 可動部が不要なファブリ・ペロー干渉計を用いて屈折率を高精度に検出することができるようにし、小型で流体以外の各種物体の屈折率をも測定することができ、且つ広帯域における屈折率分散の高精度な絶対測定を実現することができるファブリ・ペロー干渉計を用いた屈折率測定装置の提供。
効果 広帯域で可干渉性を有する光周波数コムと、フィルタ特性が共振器間隔と共振器中の物質の屈折率に依存するファブリ・ペロー共振器を組み合わせることにより、広い波長範囲において高精度な屈折率の測定を可能にするものである。これにより、物質の屈折率の標準が実現し、また種々の物質の光学特性の評価が瞬時に行えるようになる。
技術概要
この技術では、対向する面に反射膜を付加した互いに平行な2枚のガラスの間で光の反射を繰り返し共振させて干渉を生じるファブリ・ペロー干渉計を用い、ファブリ・ペロー干渉計には広帯域の光周波数コムを入射し、ファブリ・ペロー干渉計から出射する光周波数コムを、隣り合うモードの周波数間隔よりも細かい分解能でスペクトルを測定する光スペクトラムアナライザを用い、ファブリ・ペロー干渉計の共振周波数が、干渉計共振器の光学的長さに依存する現象により、光スペクトラムアナライザによって求められた光スペクトルの包落線から広い波長範囲にわたるファブリ・ペロー干渉計の一連の共振周波数を求めることにより、被測定物質の屈折率における波長分散を絶対測定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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