原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡法および原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡

開放特許情報番号
L2005011266
開放特許情報登録日
2005/12/23
最新更新日
2006/8/11

基本情報

出願番号 特願2003-020979
出願日 2003/1/29
出願人 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
公開番号 特開2004-233166
公開日 2004/8/19
登録番号 特許第3762993号
特許権者 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
発明の名称 原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡法および原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡
目的 観察している試料表面を構成する原子のうち、プローブの先端を構成する原子と重なる電子軌道をもつ、局所的な原子のみの元素の種類の同定を、試料表面の観察と同時に行なうことのできる原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡法、およびそのための原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡を提供する。
効果 プローブを構成する原子と試料表面を構成する原子との原子元素の組み合わせや、プローブ、または試料表面に印加するバイアス電圧によって決まる試料・プローブ間の原子間遷移エネルギーを利用することで、観察している試料表面を構成する原子のうち、プローブの先端を構成する原子と重なる電子軌道をもつ、局所的な原子のみの元素の種類の同定を、試料表面の観察と同時に行なうことができる。
技術概要
原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡の計測手段は、走査手段1の備えるプローブ4と、走査手段1の試料ステージに搭載される試料5表面との近接相互作用によって決定される原子間力やトンネル電流などの物性値を計測する。走査手段1は、プローブ4に対して、試料5表面を相対的に走査する。観察手段は、試料5表面の凹凸形状を観察する。近接手段は、プローブ4の先端を試料5表面から10分の数nmの距離に近接させる。印加手段2は、試料5表面から10分の数nmの距離に近接したプローブ4の先端および試料表面にエネルギーを印加する。検出手段3は、プローブ4に対して試料5表面を相対的に走査しているときに、プローブを構成する原子と、試料表面を構成する原子といった、異なる原子間での電子の遷移によって生じる試料・プローブ間の原子間遷移エネルギーを検出する。図1は原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡の概略の構成を示す正面図、図2は原子間オージェ分析走査プローブ顕微鏡の概略の構成を示す正面図である。図3はプローブの先端および試料表面にエネルギーを印加しているときの、プローブおよび試料表面の様子を示す図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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