プラズマ生成装置及びプラズマ処理方法

開放特許情報番号
L2005011176
開放特許情報登録日
2005/12/16
最新更新日
2005/12/23

基本情報

出願番号 特願2001-012320
出願日 2001/1/19
出願人 株式会社東芝
公開番号 特開2002-217175
公開日 2002/8/2
登録番号 特許第3586198号
特許権者 株式会社東芝
発明の名称 プラズマ生成装置及びプラズマ処理方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 プラズマ生成装置及びブラズマ処理方法
目的 本発明は、プラズマを生成する容器の窓の削れ量を低減し、窓の長寿命化及びチャンバ内におけるダスト発生を抑制することができるブラズマ生成装置及びプラズマ処理方法を提供することを目的としている。
効果 本発明によれば、プラズマを生成する容器の窓の削れ量を低減し、窓の長寿命化及びチャンバ内におけるダスト発生を抑制することが可能となる。
技術概要
このプラズマ生成装置及びプラズマ処理方法は、次のように構成されている。(1)容器内に誘導電界を発生させプラズマを生成するプラズマ生成装置において、容器の一部に形成され、誘電体又は半導体からなる窓部と、窓部の外方に配置された負荷部と、負荷部に電力を供給する電力供給部とを備え、負荷部は、所定方向に沿って設けられた導体線路と、両端子同士を結ぶ方向が所定方向と交差するように配置されたコンデンサとが、電気的に直列接続された電気回路要素が、直列に複数組み合わされて形成され、コンデンサの両端子にそれぞれ接続される一対の導体線路は、コンデンサと窓部の間において、所定方向と交差し、互いに遠ざかる方向に延在されている。(2)容器内に誘導電界を発生させることによりプラズマを生成するプラズマ生成装置において、容器の一部に形成され、誘電体又は半導体からなる窓部と、窓部の外方に配置された負荷部と、この負荷部に電力を供給する電力供給部とを備え、負荷部は、導体線路とコンデンサとが直列接続された電気回路要素が複数組み合わされて形成されるとともに、全ての導体線路の接地側にはコンデンサが接続されている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

登録者名称 株式会社東芝

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT