混合気体の精密流量及び発熱量測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2005009808
開放特許情報登録日
2005/10/21
最新更新日
2015/9/21

基本情報

出願番号 特願2005-202597
出願日 2005/7/12
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2007-024511
公開日 2007/2/1
登録番号 特許第4911487号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 混合気体の精密流量及び発熱量測定方法及び装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 燃料電池、混合気体の精密流量測定装置、ガス組成分析装置用校正装置、混合気体の発熱量測定装置、発電効率演算装置
目的 被測定ガスと正確に同じ組成で総質量流量が正確に与えられたガスを供給して質量流量制御器を校正し、質量流量計の補正係数CFを高精度で求めることによって、より精密な混合気体の質量流量測定装置を得ることの実現。
効果 測定ガスと正確に同じ組成で総質量流量が正確に与えられたガスを供給して熱式等の質量流量制御器を校正して、熱式等の質量流量計の補正係数CFを高精度で求ことができる。また、ガス組成分析がより正確になり、また、熱式の質量流量制御器で混合ガスの流量を測定する精度が向上する。
技術概要
この技術では、供給される気体の質量流量を、気体容器の重量変化を検出する質量流量計によって精密に計測し、重量変化を検出する質量流量計のデータにより気体の流量を測定する他の流量計を実時間校正して精密流量計とする。また、両流量計の流量計測データにより気体供給管のバルブを制御する精密流量制御装置を複数の気体毎に用い、精密流量制御装置からの複数の気体を混合してなる混合気体の流量を質量流量計で計測する。そして、混合気体の流量を計測する質量流量計のデータを、複数の気体毎の精密流量制御装置で得た各気体の質量流量を加算してなる混合気体の流量データにより校正して、混合気体の精密な質量流量データを得る。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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