準平面導波路型ジョセフソン接合アレー構造体、それを用いたデジタル−アナログ変換器、プログラマブルジョセフソン電圧標準用接合アレー、ジョセフソン電圧標準用チップ、ジョセフソン電圧発生装置

開放特許情報番号
L2005009736
開放特許情報登録日
2005/10/21
最新更新日
2015/9/18

基本情報

出願番号 特願2005-168938
出願日 2005/6/9
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-344761
公開日 2006/12/21
登録番号 特許第4595069号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 準平面導波路型ジョセフソン接合アレー構造体、それを用いたデジタル−アナログ変換器、プログラマブルジョセフソン電圧標準用接合アレー、ジョセフソン電圧標準用チップ、ジョセフソン電圧発生装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 プログラマブル電圧標準用デジタル−アナログ変換器、冷凍機、マイクロ波源、バイアス電流源
目的 表面インピーダンスの増加によるマイクロ波の減衰を防止するようにした準平面導波路型ジョセフソン接合アレー構造体、それを用いたデジタル−アナログ変換器、プログラマブルジョセフソン電圧標準用接合アレー、ジョセフソン電圧標準用チップ、ジョセフソン電圧発生装置の提供。
効果 準平面導波路型ジョセフソン接合アレーの下部電極兼下部配線の上部でかつ接地導体とのギャップの近傍にマイクロ波専用の配線を配置することによって、下部電極兼下部配線の全体の膜厚を大きくしたのと同様の効果が得られ、マイクロ波の電極における減衰を防ぐことが出来る。また、ジョセフソン接合アレー内におけるマイクロ波の減衰が減少すれば、アレー内の接合のマイクロ波の均一性が向上し電圧標準回路の動作マージンを向上させることができる。
技術概要
準平面導波路型ジョセフソン接合の場合、電界は接地導体と下部電極の隙間に集中するので、マイクロ波電流は接地導体と下部電極のギャップの近傍を集中的に流れる。従って、ギャップ近傍の厚さを厚くすれば、下部電極全体の膜厚を大きくしなくても同様の効果が得られ、表面インピーダンスの増加によるマイクロ波の減衰を防止することが可能になる。そこで、本技術のジョセフソン接合アレー構造体では、準平面導波路型ジョセフソン接合アレー構造体を、基板上に複数個の下部電極を相互に離間した状態で直列に配置し、下部電極の上に2個の中間層を相互に離間した状態で下部電極の配置方向に沿って直列に配置し、直列方向に隣り合わせの2個の中間層上にそれらを連結する上部電極を配置したジョセフソン接合を複数個備え、下部電極上に、中間層の両側に離間してマイクロ波用配線を設け、このマイクロ波用配線の外側に接地導体を設けるようにしたものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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