裏面加圧によるインプリント方法及び装置

開放特許情報番号
L2005008266
開放特許情報登録日
2005/8/19
最新更新日
2015/9/18

基本情報

出願番号 特願2005-154854
出願日 2005/5/27
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-332391
公開日 2006/12/7
登録番号 特許第4595120号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 裏面加圧によるインプリント方法及び装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 半導体、インプリントリソグラフィー装置、パターン転写機構、高密度メモリ、超LSIデバイス
目的 モールドと試料の平坦性が少々悪くても正確なインプリントを行うことができ、モールドと試料との接触時に孤立した非接触領域が生じるのを抑制し、またモールドと試料の接触面での圧力分布を簡単な手法により、且つ各種の手法によって均一化することができ、それにより試料の平坦性、傾斜に対応して精密なインプリントを行うことができるインプリント方法の提供。
効果 モールドと試料の平坦性が少々悪くても正確なインプリントを行うことができ、モールドと試料との接触時に孤立した非接触領域が生じるのを抑制し、またモールドと試料の接触面での圧力分布を簡単な手法により、且つ各種の手法によって均一化することができ、それにより試料の平坦性、傾斜に対応して精密なインプリントを行うことができる。
技術概要
本技術に係る裏面加圧によるインプリント方法は、薄い基板の周囲を保持し、基板の下方に上下動自在に加圧用構造体を配置し、基板の上方に加圧用構造体に対向してモールドを配置し、加圧用構造体を上昇させて基板の裏面を押圧し、基板の自由保持位置より上方で基板表面をモールドに押圧してインプリントするようにしているもので、加圧用構造体は、モールド及び基板よりも柔軟な物質からなる。また、加圧用構造体は、頂面部分を薄く形成した弾性押圧部材の内部に、液体、気体、ゲル、エラストマーのいずれかの物質からなる変形材を収容したものが用いられ、リニアアクチュエータ、モータ、ボイスコイル、ピエゾ素子等の電動アクチュエータ、気体圧力や液体圧力等の流体アクチュエータのいずれかにより移動させている。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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