| 出願番号 |
特願2005-115352 |
| 出願日 |
2005/4/13 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2006-293116 |
| 公開日 |
2006/10/26 |
| 登録番号 |
特許第4691704号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
光走査装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
光走査装置 |
| 目的 |
ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板に圧電体、磁歪体又は永久磁石体を配置し、基板の板波を利用してミラーに捻れ振動を生じさせることにより、簡単な構造で効率的にミラーに捻れ振動を発生することができる光走査装置を提供する。 |
| 効果 |
ディスプレーデバイス分野における動画表示サイズ及び画像精細度から求められる１ｍｍφ程度のミラーサイズで少なくとも１０ｋＨｚ以上の高速走査速度及び２０°以上の大振幅光学走査角を有する高性能な光走査装置を提供できる。また、ミラー部を、重心及び重心から外れた位置のどちらで支持してもミラー部の捻れ振動を可能とする。さらに、ミラー部の重心位置を捻れ梁部の取り付け位置から僅かにずらすことにより、ミラー部を効率的に励振することができるとともに、ヒステリスの発生を防止することができる。 |
技術概要
 |
基板に捻れ梁部を形成し、捻れ梁部により支持されたミラー部を揺動させてなる光走査装置において、基板の一部に圧電体、磁歪体又は永久磁石体を固定あるいは形成し、圧電体、磁歪体又は永久磁石体に電圧あるいは磁界を印加して基板に誘起される板波を利用して捻れ梁部に支持されたミラー部を励振させる光走査装置である。図１は光走査装置の斜視図である。基板１０は、厚さ３０あるいは５０μｍのＳＵＳ３０４の方形をした板材をエッチングあるいはプレス加工により、捻れ梁部１２及びミラー部１３を残して中抜きされた形状に作製される。基板１０の一端は支持部材１６により片持ち状に支持されている。図１においては、ミラー部１３を支持する捻れ梁部１２の位置は、捻れ梁部１２の軸に対して垂直な方向のミラー部１３の重心位置より１００μｍ以下ずれた位置に設定している。ミラー部１３を支持する捻れ梁部１２の位置を、捻れ梁部１２の軸に対して垂直な方向のミラー部１３の重心位置に設定しても、目的を達成することができる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)