電流の計測方法および表面形状の測定装置

開放特許情報番号
L2005007316
開放特許情報登録日
2005/7/8
最新更新日
2005/7/8

基本情報

出願番号 特願2001-064937
出願日 2001/3/8
出願人 静岡大学長
公開番号 特開2002-267588
公開日 2002/9/18
登録番号 特許第3551315号
特許権者 国立大学法人静岡大学
発明の名称 電流の計測方法および表面形状の測定装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 検査・検出、材料・素材の製造
適用製品 電流計測装置、表面形状計測装置
目的 機械的強度が弱い試料または不均一な硬さを有する試料を通して流れるトンネル電流を計測することができる電流の計測方法、該電流の計測方法を用いた表面の測定装置および該電流の計測方法を用いた顕微鏡装置を提供する。
効果 機械的強度が弱い試料または不均一な硬さを有する試料を通して流れるトンネル電流を計測することができ、表面情報を得ることができる。
技術概要
本発明は、図示するように、基板1上の試料2に探針3を振動させながら接触させて、探針3が試料2と接触して流れた電流を電流測定手段で計測するものである。基板1は、導電性を有し、分子といった微小の試料2を流れる電流を計測するために、例えば原子レベルで平坦な表面を有することが好ましい。本発明に用いる基板1は、導電性を有し、原子レベルで平坦な表面を有する金、銀、銅といった金属のほか、試料2を通して流れる電流を計測できる程度に平坦な表面を有するものであればいかなるものでも使用することができる。また、絶縁性の基板に金属といった導電性物質を蒸着といった方法によってメッキして導電性を有するようにされていても良い。これによれば、無機分子、有機分子、または機械的強度の弱く、不均一な硬さを有する細菌、酵素、DNA、タンパク質などの生体高分子といった有機高分子などいかなる試料でも用いることができる。
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【可】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 電流を直接計測することが可能なため、試料の種類に応じて電気抵抗といった電導効率を比較することが可能となる。
改善効果2 探針を一定の力かつ所定の周期で試料に接触させることができるため、生体試料などの極めて柔らかく、不均一の硬さを有する試料の電流の計測および電流計測から表面情報を得ることを可能にした。
改善効果3 表面の分子の分布に関する状態を明確に与えることを可能にし、電子、電気、半導体、分析触媒、分離、化学、記憶、記録の各分野、特にバイオテクノロジーの分野に対して多大な応用性を有する。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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