酸素ガス検知装置

開放特許情報番号
L2005007314
開放特許情報登録日
2005/7/8
最新更新日
2005/7/8

基本情報

出願番号 特願2002-351273
出願日 2002/12/3
出願人 国立大学法人静岡大学
公開番号 特開2004-184219
公開日 2004/7/2
登録番号 特許第3663440号
特許権者 国立大学法人静岡大学
発明の名称 酸素ガス検知装置
技術分野 電気・電子、無機材料
機能 検査・検出、機械・部品の製造、材料・素材の製造
適用製品 酸素ガス検知装置
目的 優れた酸素ガス感度と応答性とを有し、耐久性に優れ、かつ空気が過剰な燃焼排ガスでも低い抵抗値領域での検出が可能な酸素ガス検知装置を提供する。
効果 優れた酸素ガス感度と応答性とを有し、耐久性に優れ、かつ空気が過剰な燃焼排ガスでも低い抵抗値領域での検出が可能である。
技術概要
本発明の酸素ガス検知装置を図に示す。基板1の表面には、センサ部である酸化ガリウム(例えばGa↓2O↓3)結晶を有する薄膜2が形成されている。一対の電極3a、3bは、薄膜2の表面に形成されている。これら電極3a、3bは、互いに入り込んだ櫛歯形状をなす。基板としては、シリコン、アルミナ等の種々の材料からなるものを用いることができるが、特に検知時の高温雰囲気において酸化ガリウムへの不純物の汚染等を回避することが可能なシリコン基板が好ましい。薄膜は、平均粒径が10〜50nmの酸化ガリウム結晶単独からなるもの、またはこの酸化ガリウム結晶にさらに酸化ガリウムと原子半径が近似し、かつ電子的な作用を生じる少なくとも1種の元素を含有するものを挙げることができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 自動車または工場ボイラ等から排出される高温の燃焼排ガス浄化システムに有効に適用可能な酸素ガス検知装置を提供できる。
改善効果2 空気が過剰な燃焼排ガスでも低い抵抗値領域での検出が可能である。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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