物理・化学現象検出装置

開放特許情報番号
L2005007313
開放特許情報登録日
2005/7/8
最新更新日
2005/7/8

基本情報

出願番号 特願平10-286446
出願日 1998/10/8
出願人 静岡大学長
公開番号 特開2000-111424
公開日 2000/4/21
登録番号 特許第3018174号
特許権者 国立大学法人静岡大学
発明の名称 物理・化学現象検出装置
技術分野 電気・電子、情報・通信
機能 検査・検出、機械・部品の製造
適用製品 物理・化学現象検出装置
目的 物理・化学現象の変化を電界放出による電子線の変化として出力させ、物理・化学現象の2次元の検出信号を並列的に処理し、その分布を直接観察可能にした物理・化学現象検出装置を提供する。
効果 物理・化学現象の変化を電界放出による電子線の変化として出力させ、物理・化学現象の2次元の検出信号を並列的に処理し、その分布を直接観察できる。
技術概要
本発明は、物理・化学現象の検出装置であって、図1,2に示すように、電界放出型微小電子源(13)と電界放出型微小電子源に接続された物理・化学現象検出センサ(17、22、23)等の対を有する検出素子を具備し、検出素子がセンサにより電界放出型微小電子源(13)から放出される電子量を制御する検出装置であり、複数個の検出素子は少なくとも1次元に配列することができる。
イメージ図
実施実績 【試作】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 微小電界放出型微小電子源の電位を物理・化学センサなどで制御することにより微小電子源からの放出電子量を可変できる。
改善効果2 物理・化学量を電子線の量に変換することにより、1次元以上に並べられた本発明の検出素子を用いて容易に、その空間分布を観測可能となる。
改善効果3 素子を2次元的に配置し、その検出素子に容量を付加し、信号を一定時間蓄積して、時系列で出力することにより、高感度な物理・化学現象の撮像素子に応用することができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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