評価面の粗さ測定方法および評価面の粗さ測定装置

開放特許情報番号
L2005007132
開放特許情報登録日
2005/7/1
最新更新日
2015/12/3

基本情報

出願番号 特願平11-322433
出願日 1999/11/12
出願人 国立研究開発法人情報通信研究機構
公開番号 特開2001-141436
公開日 2001/5/25
登録番号 特許第3348198号
特許権者 国立研究開発法人情報通信研究機構
発明の名称 評価面の粗さ測定方法および評価面の粗さ測定装置
技術分野 情報・通信、その他
機能 検査・検出、その他
適用製品 評価面の粗さ測定装置
目的 試料の評価面の粗さを示す2つのパラメータである表面粗さと相関距離を個別に測定可能な評価面の粗さ測定装置を提供する。
効果 散乱ブリュースタ角Θ↓B↓1において取得される散乱波のP偏波成分の強度に対するS偏波成分の強度の比に基づいて演算した相関距離と、当該試料表面からの電磁波散乱強度とに基づいて表面粗さを演算できる。
技術概要
本発明の散乱ブリュースタ角Θ↓B↓1への散乱波を利用した評価面の粗さ測定装置は、P偏波成分のみを含む電磁波を照射する電磁波照射手段としてのレーザ光源21と、レーザ光源21から試料22の表面に対して照射されたレーザの散乱光を散乱ブリュースタ角Θ↓B↓1で受けるように配置した偏光ビームスプリッタ23と、偏光ビームスプリッタ23により分離されたS偏波成分を取得する第1散乱波取得手段としての第1光検出器24と、偏光ビームスプリッタ23により分離されたP偏波成分を取得する第2散乱波取得手段としての第2光検出器25と、第1,第2光検出器24,25より取得したP偏波成分の強度とS偏波成分の強度との比に基づいて試料22の評価面の相関距離を求め、更にその相関距離と試料22表面からの電磁波散乱強度とに基づいて表面粗さを求める粗さ演算手段としてのコンピュータ26とからなる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【改善】
改善効果1 散乱ブリュースタ角Θ↓B↓1において取得される散乱波のP偏波成分の強度に対するS偏波成分の強度の比に基づいて演算した相関距離と、当該試料表面からの電磁波散乱強度とに基づいて表面粗さを演算できる。
改善効果2 散乱ブリュースタ角Θ↓B↓1において取得される散乱波のP偏波成分の強度に対するS偏波成分の強度の比に基づいて、評価面の相関距離を演算できる。
改善効果3 散乱ブリュースタ角Θ′↓B↓2において取得される散乱波のP偏波成分の強度に対するS偏波成分の強度の比に基づいて演算した相関距離と、当該試料内部への電磁波散乱強度とに基づいて表面粗さを演算できる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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