探針製造方法、探針製造装置及び探針

開放特許情報番号
L2005007081
開放特許情報登録日
2005/7/1
最新更新日
2015/9/18

基本情報

出願番号 特願2005-093191
出願日 2005/3/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-170967
公開日 2006/6/29
登録番号 特許第4324694号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 探針製造方法及び探針製造装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出、機械・部品の製造
適用製品 探針製造装置及び探針
目的 探針の尖鋭さを保持しながら、表面の不純物を除去し、探針先端の性状を再現性良く作製することを可能にした探針製造方法、探針製造装置及び探針を提供する。
効果 探針先端形状を損なうような高温加熱を行うことなく、探針全体の表面を、探針素材である金属が露出しかつ不純物が存在しない極めて清浄な状態にすることができる。また、探針作製に用いる金属素材中に含まれる微量な硫黄を除去することができ、探針形状に加工後、表面の不純物を除去する際に、硫化物が表面に形成されるのを防ぐことができる。さらに、金属素材中に含まれる微量な硫黄の除去を行う際に、金属素材を効率よく簡便に低コストで加熱することができる。
技術概要
金属酸化物、炭化水素化合物、そして硫化物といった不純物の除去を可能にした探針製造方法及び探針製造装置では、まず、第1の工程として(又は加熱手段において)、図1(a)に示すように、 金属素材を探針形状に加工する以前に、あらかじめ真空中または不活性ガス雰囲気中で1200℃以上に加熱し、金属素材中の硫黄成分を除去する。次に、第2の工程として(又は針状体加工手段において)、図1(b)に示すように、電解研磨により金属素材を探針形状に加工する。次に、第3の工程として(又は不純物除去手段において)、図1(c)に示すように、探針形状への加工後、金属針を還元性雰囲気中で加熱し、表面の酸化物および炭化物を還元除去する。次に、第4の工程として(又は還元性元素除去手段において)、図1(d)に示すように、不純物の除去後、探針を真空中で600℃以上に保持した状態で水素分圧を十分小さくすることにより、金属表面に吸着または金属中に拡散した還元性元素、例えば、水素を除去する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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