微細パターン形成方法

開放特許情報番号
L2005007017
開放特許情報登録日
2005/7/1
最新更新日
2015/9/17

基本情報

出願番号 特願2005-067297
出願日 2005/3/10
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-047276
公開日 2006/2/16
登録番号 特許第4581113号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 微細パターン形成方法
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 機能性材料の3次元的な微細パターン形成技術、ガスセンサ、熱電発電器、微細構造
目的 ガスセンサ及び熱電発電器の基板上に触媒又は抵抗体の原料の機能性材料の3次元的な微細パターンを形成する方法及びその方法を使用して作製された微細パターンを構成要素として含むガスセンサ及び熱電発電器の提供。
効果 機能性材料のペーストの主成分である粒子の形状及び分布状態を含む所定の微細構造が制御されたままの状態で所定の微細パターンを形成することが可能であり、例えば、機能性材料として、予め微細構造を制御して調製した酸化物と触媒のペーストを用いた場合、その微細構造を完全に維持した形で所定の微細パターンを形成することが可能である。
技術概要
この技術は、可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を検出信号として検出するガスセンサ又は熱を電気に変換する熱電発電器において、その基板上に触媒又は抵抗体の微細パターンを形成する方法であって、1)触媒又は抵抗体の原料の機能性材料を、その所定の微細構造を制御して設計、調製する、2)ディスペンサを3次元的に移動させながら、触媒又は抵抗体の原料の機能性材料を吐出させることにより、基板上の所定の位置に、所定のパターンで塗布する、3)それによって、機能性材料の主成分である粒子の形状及び分布状態を含む所定の微細構造が制御されたままの状態で微細パターンを形成するものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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