混合ガスによる薄膜作製方法とその装置

開放特許情報番号
L2005006989
開放特許情報登録日
2005/7/1
最新更新日
2006/10/27

基本情報

出願番号 特願2005-058402
出願日 2005/3/3
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-241516
公開日 2006/9/14
発明の名称 混合ガスによる薄膜作製方法とその装置
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 薄膜堆積プロセス室内の分圧比を制御する薄膜堆積装置
目的 圧力と物性値に敏感な圧力測定装置と物性値に影響されない圧力測定装置によって、混合気体の圧力測定から、データーベースにより組成を求め、薄膜堆積プロセス室に供給するガスの流量を制御する方法を提供する。
効果 バルブ、配管の長さや直径など流量調節器と成膜容器の間の配管構成が装置ごとに変わることによる各成分ガスの供給量の制御を最適とさせることが出来る。
技術概要
(A)圧力と物性値に敏感な圧力測定装置と(B)物性値に影響されない圧力測定装置によって、(C)混合気体の圧力測定の圧力値から、基板上に薄膜を堆積させる薄膜堆積プロセス室に供給する複数ガスの流量を制御して薄膜を作製する。成分Cは、例えば粘性から組成が一意的に定義される組成の変化を有する混合ガスで、水素−シラン、水素−メタノール、MOCVDを含むCVDの混合ガスなどで、成分Aは水晶摩擦真空計、スピニングロータゲージなどで、成分Bは隔膜真空計や、液柱差真空計、圧縮真空計、ブルドン管真空計などが好ましい。薄膜を形成する基板9を配置した薄膜堆積プロセス室7に、供給配管2、5から供給されるガスの濃度を隔膜圧力計10と水晶振動式圧力計11で圧力を測定し、その出力データで混合ガスの濃度を濃度演算部12で求め、流量制御装置13に出力させる。混合気体の分圧比に対応する混合濃度になるように流量調節器A、Bを制御するのが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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