紫外光の発生方法および紫外光源装置

開放特許情報番号
L2005006970
開放特許情報登録日
2005/7/1
最新更新日
2006/7/21

基本情報

出願番号 特願2005-048125
出願日 2005/2/24
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-010675
公開日 2006/1/12
発明の名称 紫外光の発生方法および紫外光源装置
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 不活性ガス、YAGレーザー光
目的 紫外域において連続的なスペクトルを呈する紫外光源の提供。
効果 紫外領域において、連続的なスペクトルを有する紫外光を発生させることができる。従って、本技術による紫外光源装置は、特に紫外域の分光光度計の光源として優れた効果を発揮する。
技術概要
この技術では、ガスセル内に不活性ガスを封入した状態で、パルスレーザー装置からのパルスレーザー光を集光レンズにより不活性ガス中に導入して、レーザープラズマを発生させる。このレーザープラズマは、紫外域から赤外域にわたる広い帯域のスペクトル分布を示す。従って、このレーザープラズマから紫外窓を通してガスセル外に紫外光を取り出すことができる。ガスセル内に封入される不活性ガスとしては、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、アルゴン(Ar)などの希ガスの少なくとも1種、これら希ガスの少なくとも1種を主成分とする混合ガスなどが使用できる。不活性ガスとしては、Krがより好ましい。封入ガスの圧力は、通常0.01〜1MPa程度であり、より好ましくは0.05〜0.5MPa程度である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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