液体噴射装置

開放特許情報番号
L2005006927
開放特許情報登録日
2005/7/1
最新更新日
2006/9/22

基本情報

出願番号 特願2005-029761
出願日 2005/2/4
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-212992
公開日 2006/8/17
発明の名称 液体噴射装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 液体噴射装置
目的 駆動電圧と変位量との関係において圧電体の強誘電特性に起因して生じる非線形性やヒステリシスの問題、及び圧電駆動素子を高温で製造しなければならないという問題を克服し、高精度化及び高速化が図られた液体噴射装置を提供する。
効果 液体貯蔵部の体積を膨張、収縮させ液体噴射口から液体を噴射するための手段である圧電駆動素子を非強誘電体にしたので、駆動電圧に対する変位量が線形応答を示し、またヒステリシスも示さなくなるために高精度な液体噴射が可能となる。また、分極状態が変化することもなく、長期に渡って高精度で安定した液体噴射特性が維持できる。さらに、マイクロレベルでのノズルの集積化が容易となり、高速な液体噴射も可能となる。
技術概要
図1は、液体噴射装置に用いられる圧電駆動素子の基本構造の断面を示す説明図である。図に示すように、圧電駆動素子1は、下部電極膜2A、圧電体膜2B及び上部電極膜2Cから構成されている。即ち、圧電駆動素子1は、圧電体膜2Bの上下に形成された上部電極膜2C及び下部電極膜2Aとを備え、下部電極膜2Aが振動板3に接合形成されている。この振動板3は、圧電駆動素子1が振動すると、それに同期して振動する。なお、下部電極膜2Aは、振動板3が導電体である場合は振動板3が電極の役割を果たすので、必ずしも設ける必要はない。図2は、液体噴射装置を横から見た場合の断面を示している。圧電駆動素子1を駆動させると、すなわち下部電極膜2Aと上部電極膜2Cとの間に駆動電圧を印加すると、圧電体膜2Bが振動し、この振動が振動板3により増幅され、振動板3が液体貯蔵部6に貯蔵された液体に圧力を加える。そして、圧力を加えられた液体は装置本体9の先端に形成された液体噴射口7から噴射される。この作用により液体貯蔵部6の体積が収縮(加圧)と膨張(減圧)を繰り返し、1サイクル毎に液体噴射口7から液滴8を噴射する。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT