| 出願番号 |
特願2005-024161 |
| 出願日 |
2005/1/31 |
| 出願人 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2006-205679 |
| 公開日 |
2006/8/10 |
| 登録番号 |
特許第4362629号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
一括転写型インクジェット用ノズルプレートの製造方法 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
一括転写型インクジェット用ノズルプレート |
| 目的 |
パターンを一括転写（転写とはパターンなどを描画することをいい、特定のパターンを写しとり複製描画することを含む。）できる微細ノズル孔を有するノズルプレート、およびその製造方法；また、基板（ノズルプレート）上の任意の位置、任意の形状に、微細ノズル孔を形成する方法、およびそれにより得られるインクジェット用ノズルプレート；目的のパターンを得るための描画効率が高く、ノズル制御機器を単純化して低コスト化できる一括転写型インクジェット用ノズルプレート、およびその製造方法；を提供する。 |
| 効果 |
ノズルプレートが版として機能するため、目的とするパターンの効率的な描画（短時間、インク材料のロス低減など）を可能とする。また、パターンを得るためのノズル制御（ドロップオンデマンド処理）を省略し、制御機器を単純化するため、インクジェットの構造を簡素化し、その低コスト化を可能とする。さらに、そのノズル形成方法からノズル孔の配列設計の自由度を高め、微細ノズル孔を目的のパターン（位置、形状など）に形成し配列することを可能とする。 |
技術概要
 |
一括転写型インクジェット用ノズルプレートの製造工程を概略的に図１に示す。（Ａ）は立体構造物形成の初期段階を示したものである。基板１００に対して、ノズル１０１から吐出させた微細液滴１０２が、基板１００上に着弾し固化した液滴（液滴固化物）１０３となる状態である。（Ｂ）はさらに中期を示したのものである。液滴が連続して着弾し固化堆積した構造物１０４を示している。（Ｃ）はさらに後期を示しおり、堆積した構造物の頂点に微細液滴が集中して着弾し、立体構造物１０５が形成されることを示している。図２は、微細インクジェット装置を一部断面により示したものである。電界の集中により微細液滴を飛翔付着させ、乾燥固化により該液滴を堆積させて、微細バンプを形成する方法を、微細インクジェット法とよび、その液滴吐出装置を微細インクジェット（装置）という。微細インクジェットにおいては、図３に示したようにノズル先端部に電界を集中させ、その効果により流体液滴を荷電させることにより、対向基板に誘起する鏡像力の作用を利用する。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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