| 出願番号 |
特願2005-024117 |
| 出願日 |
2005/1/31 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2006-208324 |
| 公開日 |
2006/8/10 |
| 登録番号 |
特許第4798557号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
プローブカード、およびその製造方法。 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
プローブカード |
| 目的 |
製造工程を簡略化し、省エネルギー、省資源とすることができるプローブカード製造方法；また、端子の狭ピッチ化、端子配置の多様化、その頻繁な変更などに柔軟に対応できるプローブカード、およびその製造方法；さらに、液滴吐出ごとの焼結工程を必要とせず、プローブとなる微細バンプを短時間で形成できるプローブカードの製造方法；半導体チップとの接触時の圧力に対してクッション効果を発揮し、各々のプローブ端子の全ての均等な接触を可能とするプローブカード、およびその製造方法；を提供する。 |
| 効果 |
インクジェットを用いることでプローブカードの製造工程を簡略化することができ、省エネルギー、省資源とすることができる。また、インクジェットの吐出を制御するプロセスデータを変更することで、多様なパターンで微細バンプを形成することができ、端子配置の頻繁な変更にも柔軟に対応できる。さらに、微細バンプ形成時に吐出される微細液滴の乾燥力が高いため、液滴吐出ごとの焼結工程を必要とせず、プローブとなる微細バンプを短時間で形成することが可能である。 |
技術概要
 |
プローブカードの製造工程を概略的に図１に示す。（Ａ）は立体構造物形成の初期段階を示したものである。基板１００に対して、ノズル１０１から吐出させた微細液滴１０２が、基板１００上に着弾し固化した液滴（液滴固化物）１０３となる状態である。（Ｂ）はさらに中期を示したのものである。液滴が連続して着弾し固化堆積した構造物１０４を示している。（Ｃ）はさらに後期を示しおり、堆積した構造物の頂点に微細液滴が集中して着弾し、立体構造物１０５が形成されることを示している。図２に、好ましい実施態様として、プローブカードの製造方法により製造されたプローブカードの一例を載せている。図２では、基板２０１の上に柔軟性のある樹脂２０５が設けられ、その上に電極２０２を設けている。電極２０２の上で、樹脂２０５の上部にバンプを形成し、バンプは核部分２０３と、表層部２０４の２層構造となっている。図３は、微細インクジェット装置を一部断面により示したものである。 |
| イメージ図 |
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| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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