| 出願番号 |
特願2005-024115 |
| 出願日 |
2005/1/31 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2005-300522 |
| 公開日 |
2005/10/27 |
| 登録番号 |
特許第4576582号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
マイクロ素子化された熱電式ガスセンサ |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
混合ガス、ガス種 |
| 目的 |
低消費電力、高感度の濃度測定及び高速応答を可能にするマイクロ素子化された熱電式ガスセンサ の提供。 |
| 効果 |
（１）マイクロ素子化された熱電式ガスセンサを提供することができる、（２）マイクロヒータに より触媒温度を細かく制御できる、（３）それにより、触媒そのものにガス選択性を与えることができる 、（４）簡単な素子でより選択性を高めたガスセンサを提供できる、（５）熱電薄膜の高温部と低温部を 同じメンブレン上に形成することで、高速応答及び高感度の濃度測定が可能となる、という格別の効果が 奏される。 |
技術概要
 |
この技術のマイクロ熱電式ガスセンサは、基板に熱遮蔽のためのメンブレンを形成し、このメ ンブレン上に、被検出ガスと接触して触媒反応を起こす触媒材と、この反応による発熱から発生する局部 的な温度差を電圧信号に変換する熱電変換材料膜と、ガスセンサの安定したガス検出を促すための温度制 御用のマイクロヒータとを形成し、且つ熱電薄膜の高温部と低温部を同じメンブレン上に形成したことを 特徴とするものである。この熱電式ガスセンサは、触媒の発熱による温度差を、高感度で検知できる熱電 変換原理で電圧に変えることで、抵抗変化を用いたガス検出装置と比べて、ドリフトが起こらないことか ら、特に、低濃度のガス検知に優れた特性を発揮できる。このガス検出センサにおいては、ガスセンサの 安定したガス検出を促すために、特に、ガスとの反応が行われる触媒部の温度を触媒反応が安定的に行わ れるようにするために、触媒部のみをマイクロヒータ部で加熱し、温度制御できるようにすることが重要 であり、それにより、センサ素子の高応答性と低消費電力化が可能となる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
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