微粒子強度測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2005004644
開放特許情報登録日
2005/4/8
最新更新日
2015/9/16

基本情報

出願番号 特願2004-349978
出願日 2004/12/2
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-162279
公開日 2006/6/22
登録番号 特許第4465450号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 微粒子強度測定方法及び装置
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 微粒子強度測定装置
目的 微粒子サイズと同程度の大きさの平坦部(1ミクロン以下)をもったダイヤモンド圧子を採用するとともにダイヤモンド基板を装着したステージを1ミクロン以下の制御が可能であるクローズドループ制御により制御し、さらに、微粒子の粒径を原子間力顕微鏡で測定するようにしたことにより、1ミクロン以下の大きさの微粒子の強度を正確に測定可能とする。
効果 個々の粒子の強度が測定できるため、同一ロット粒子からサンプリングして、強度測定を行うことにより、そのロット粒子のある応力負荷時の破壊確率を評価することが可能になった。また平均強度も見積もることができる。さらに、粒子が小さくなると、強度などの機械特性は、粒子のサイズに依存する効果(サイズ効果)があると考えられていたが、1ミクロン以下の粒子のサイズ効果の大きさを実測することが可能になる。
技術概要
図1は、微粒子強度測定装置の概略を示したものである。図1において、X−Y方向に移動自在なステージ10の上にはダイヤモンド基板11が装着されており、ダイヤモンド基板11の上には粒子12が分散されている。ステージ10の精度の高いステージ制御は、位置センサーの分解能が0.1μmのクローズドループコントロールによって行われる。ステージ10の上方の一側には、変位センサーを備えた負荷セル14が設けられ、負荷セル14の下端には微粒子のサイズと同程度の大きさの平坦部が形成されたダイヤモンド圧子13が装着されている。また、ステージ10の上方の他側には、原子間力顕微鏡15及び光学顕微鏡16が回転テーブル18に装着されている。ステージ10は、負荷セル14及び原子間力顕微鏡15及び光学顕微鏡16にダイヤモンド基板11が正確に対峙するようにクローズドループコントロールによって精密に移動される。図2は圧縮試験用圧子の先端部加工の状況を説明するための概略図である。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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