メアンダライン型ジョセフソン接合アレー

開放特許情報番号
L2005004574
開放特許情報登録日
2005/4/8
最新更新日
2015/9/16

基本情報

出願番号 特願2004-316047
出願日 2004/10/29
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-128460
公開日 2006/5/18
登録番号 特許第4604239号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 メアンダライン型ジョセフソン接合アレー
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 メアンダライン型ジョセフソン接合アレー
目的 バイアス電流とマイクロ波の印加により一定電圧を発生するジョセフソン接合の多数個を直列接続したジョセフソン接合アレーで構成される電圧標準装置を提供する。
効果 ジョセフソン接合アレーをメアンダライン型にすることで2倍のジョセフソン接合を集積でき、アレーの下部電極とマイクロ波伝送線路の外部導体の間に絶縁膜をはさむことにより、アレーと外部導体が電気的に完全に絶縁されるため、ごみや不純物による絶縁性能の劣化または短絡故障の可能性が小さくなる。チップサイズを小型化、またはチップサイズを大型化せずに大きな出力電圧を得ることが可能になり、作製の歩留まりを向上させ電圧標準チップの製造コストを下げるために有効である。
技術概要
基板上にジョセフソン接合アレーがメアンダライン状に配置されたジョセフソン接合アレー構造体であって、ジョセフソン接合アレーは、下部電極、中間層及び上部電極から構成され、下部電極との間に絶縁膜を介して外部導体が配置されているジョセフソン接合アレー構造体である。また、下部電極と外部導体の間に絶縁膜を介して形成される特性インピーダンスの値が一定となる構造であり、ジョセフソン接合アレー構造体は、準平面型マイクロ波伝送線路を形成するように配置された構造である、ジョセフソン接合アレー構造体である。図1に示されるように、従来のジョセフソン接合と同じ長さで、接合の数を2倍にするには、下部電極4と上部電極6をメアンダライン(蛇行)状にしてジョセフソン接合7を2列にすれば、2倍のジョセフソン接合が配置できる。アレーのインダクタンスLは大幅に増加するため、下部電極4の大きさを大きくし、接地導体3に近づける。図2は、図1のAA面における断面図であるが、下部電極4と接地導体3がゴミや不純物による短絡故障が起こらないように、下部電極4と接地導体3は絶縁膜8により絶縁する構成としている。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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