レーザ加工装置および加工方法

開放特許情報番号
L2005003103
開放特許情報登録日
2005/3/11
最新更新日
2005/3/11

基本情報

出願番号 特願平10-118320
出願日 1998/4/28
出願人 松下電器産業株式会社
公開番号 特開平11-309595
公開日 1999/11/9
登録番号 特許第3052931号
特許権者 松下電器産業株式会社
発明の名称 レーザ加工装置および加工方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 レーザ加工装置、レーザ加工方法、プリント基板、穴明け加工機、レーザ穴あけ加工機
目的 各種さまざまな基板材料に対していろいろな径を有するマスクを用いてレーザ穴あけする場合に安定した加工品質を提供することの実現。
効果 コリメータに移動機構または切り替え機構を設けることにより加工壁面の形態および形状など加工品質を確保することができる。また、加工点に達するエネルギの安定化が可能となり、安定した加工品質を得る優れたレーザ加工装置および加工方法を実現できる。
技術概要
この技術では、レーザ発振器とレーザ光により加工する被加工物の間にマスクを配置すると共に、マスクと被加工物の間に転写レンズを配置し、レーザ発振器とマスクの間に2つ以上のコリメータを備える。そして、コリメータを構成するレンズのうち少なくとも1枚のレンズをレーザ光線上に固定して配置し、残りのレンズをレーザ光線上に移動させるとともに、コリメータ全体を光軸方向に移動させる移動手段を設ける。または、一方をレーザ光が発散する構成とし、他方をレーザ光が収束する構成にしたコリメータを配置し、かつコリメータの1つをレーザ光線上に移動するとともに、コリメータ全体を光軸方向に移動させる移動手段を設ける。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【有】
国外 【無】   
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