メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法及びそれを用いたガスセンサー

開放特許情報番号
L2005000092
開放特許情報登録日
2005/1/7
最新更新日
2015/9/16

基本情報

出願番号 特願2004-286306
出願日 2004/9/30
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-098284
公開日 2006/4/13
登録番号 特許第4811757号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法及びそれを用いたガスセンサー
技術分野 生活・文化
機能 環境・リサイクル対策、検査・検出
適用製品 メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、及びそれを用いたガスセンサー
目的 規則的に配列したメソ細孔を有する三次元構造を備えている結晶性メソポーラス金属酸化物薄膜を光導波路基盤の表面にコーティングすることにより、光導波路センサーの感度を向上させる。
効果 高比表面積を持つ、かつ規則的な構造を有するメソポーラス金属酸化物をコーティングした複合光導波路センサーを開発することができ、これを活用することにより、小型、軽量、簡便な環境計測が可能な高感度と高選択性を有するセンサーの基礎技術を開発できる。
技術概要
光導波路の表層に設置された光増幅層の表面を、メソポーラス金属酸化物薄膜で被覆した;メソポーラス金属酸化物が、金属アルコキシド、金属塩、ここでMは、Ag、Zn、Ta、Sn、Mn、Ti、W、In、Nb、から選ばれる金属の1種である)又は一般式硝酸塩M(NO↓3)↓x(ここでMは、Ag、Sn、Mn、Ti、W、In、Nb、から選ばれる金属の1種である) から誘導される;メソポーラス金属酸化物薄膜が、規則的に配列したメソ細孔を有する三次元構造を備えている;光増幅層がTiO↓2であり、この上にメソポーラス金属酸化物が被覆された;メソポーラス金属酸化物コーティングしたメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーである。図1はメソポーラス金属酸化物コーティングした複合光導波路センサーの高感度と高選択性を達成するコンセプトである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT