13族窒化物の結晶構造変化方法、13族窒化物および立方晶窒化物を含む構成物

開放特許情報番号
L2004009057
開放特許情報登録日
2004/12/24
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2003-077389
出願日 2003/3/20
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-284851
公開日 2004/10/14
登録番号 特許第4182205号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 13族窒化物の結晶構造変化方法
技術分野 無機材料、その他
機能 材料・素材の製造、加圧・減圧、その他
適用製品 立方晶窒化アルミニウム、立方晶窒化ガリウム、立方晶窒化インジウム
目的 静的圧力印加法による13族窒化物の結晶構造変化方法よりも簡易な装置構成で、13族窒化物の結晶構造を変化させることが可能な13族窒化物の結晶構造変化方法を提供する。
効果 数十〔GPa〕という非常に大きな圧力を要する静的圧力印加法による13族窒化物の結晶構造変化方法よりも簡単な装置構成で、立方晶窒化物を常温下で簡易に得ることが可能となる。
技術概要
本発明の13族窒化物の結晶構造変化方法は、六方晶系の結晶構造である13族窒化物の原料粉末と搬送ガスをエアロゾル状態として、減圧された成膜室内の基板へ吹き付け、粒子の基板衝突時の衝撃力を4〔GPa〕以上とすることで、基板に衝突した13族窒化物の結晶構造を立方晶系に変化させるようにしたことを特徴とする。図に示すように、搬送ガスHeと六方晶窒化アルミニウムの粉末をエアロゾル化室2でエアロゾル状態とし、搬送管3を介して成膜室4へ送り込み、成膜室4はエアロゾルが供給された状態で200〜8000〔Pa〕の真空度に保たれるように真空ポンプ5で減圧しておき、成膜室4における搬送管3の端部に設けたノズル6から基板ホルダー7に固定した基板へ、粒子衝突時の衝撃力が4〔GPa〕以上となるようにエアロゾルを吹き付けると、窒化アルミニウムの結晶構造が六方晶から立方晶に変化し、基板上には立方晶窒化アルミニウムが堆積してゆく。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 13族窒化物の結晶構造を立方晶系に変化させるのに要する4〔GPa〕以上の衝撃力を、エアロゾル吹き付け時の粒子速度を300〔m/s〕以上とすることにより実現するので、装置設計時の指標となる。
改善効果2 本発明の13族窒化物は、結晶構造が立方晶に変化した部分と六方晶のままの部分が混在する。従来の静的圧力印加法では、六方晶の部分と立方晶の部分を混在させることは不可能であった。
改善効果3 基板に衝突する個々の粒子に4〔GPa〕以上の衝撃力が作用するが、これは基板にとって損壊に至るほどの衝撃ではないため、極薄の基板に立方晶族窒化物を固着させた構成を得ることが出来る。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT