光学材料の群屈折率精密計測方法及び装置

開放特許情報番号
L2004009050
開放特許情報登録日
2004/12/24
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2003-078612
出願日 2003/3/20
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-286575
公開日 2004/10/14
登録番号 特許第4051443号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光学材料の群屈折率精密計測方法及び装置
技術分野 電気・電子、無機材料、その他
機能 検査・検出、材料・素材の製造、その他
適用製品 光学材料の群屈折率精密計測装置
目的 被測定試料の厚さ情報を必要とせず、容易に、且つ正確に群屈折率を測定する手法を提供する。
効果 従来の群屈折率測定手法においては試料の厚さを事前に知る必要があるが、本発明の手法では必要とせず、容易に、且つ正確に群屈折率を測定することができる。
技術概要
本発明の光学材料の群屈折率精密計測方法は、図に示すように光源に低コヒーレンス光源を用いマイケルソン型等の第1干渉計2及び同型の第2干渉計3を直列に接続して干渉計を構成し、群屈折率を測定したい被測定光学材料13と、同材質の第1補償板14とを第1干渉計2に、第2補償板15を第2干渉計に配置し、光路を切り換えつつ干渉計の鏡を光軸方向に走査し、低コヒーレンス干渉縞の発生する位置を複数測定して、その位置に基づいて群屈折率を計算する。その他の手法として、三角光路干渉計に対して、群屈折率を測定したい被測定光学材料と、同材質の1枚の補償板とを用い、被測定光学材料と1枚の補償板を一体として光軸方向に操作しつつ、低コヒーレンス干渉縞の発生する位置を測定して、群屈折率を計算する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 従来の群屈折率測定手法においては試料の厚さを事前に知る必要があるが、本発明の手法では必要とせず、容易に、且つ正確に群屈折率を測定することができる。
改善効果2 厚さの限界は光源のスペクトル幅に依存するが、従来の技術では10mm厚の試料が精密に測定できる方法がほとんど存在しない。本発明による手法は補償板を用いることによって、それらの厚さの差が影響するのみであるため、試料の厚さそのものはどれだけ厚くても良い。
改善効果3 フーリエ解析によって波長毎に群屈折率を求める従来技術においては、試料の出し入れが必要で位置や傾きの再現性が必要であるが、本発明の手法によれば一度全体の機器を設定すると、後はシャッターによる光路の開閉のみで計測できるので、試料の出し入れは必要なく、再現性向上や短時間測定が可能となる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT