表面波評価装置

開放特許情報番号
L2004009049
開放特許情報登録日
2004/12/24
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2003-078958
出願日 2003/3/20
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-286594
公開日 2004/10/14
登録番号 特許第3876316号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 表面波評価装置
技術分野 電気・電子、無機材料、その他
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア、その他
適用製品 表面波評価装置
目的 表面弾性波の波面方向とトランスデューサの方向の整合をとりやすい構成をもち、従って測定誤差を抑制することのできる表面波評価装置を提供する。
効果 従来の測定装置よりも誤差の少ない測定を行うことができ、例えば、従来法では精度の高い測定が不可能な柔らかい膜について、本発明では、0.1GPaの精度で弾性率を測定できた。
技術概要
本発明の表面波評価装置は、測定対象物の表面に表面波を発生する表面波発生手段と、測定対象物を伝播する表面波を検出する一列に並んだ複数の表面波検出手段と、表面波検出手段の結果を比較する比較手段と、複数の表面波検出手段の結果が一致するように一列に並んだ複数の表面波検出手段の列の向きを調整することのできる表面波検出手段の保持手段とを含み、一列に並んだ複数の表面波検出手段のそれぞれの検出結果を用いて保持手段の調整を行った後に、一列に並んだ複数の表面波検出手段の少なくともひとつの表面波検出手段を用いて測定することを特徴とする。図は表面波評価装置の検出部を示す模式図で、便宜的にトランスデューサへ向かう表面弾性波のみを図示している。伝播してくる表面弾性波をそこから離れた位置で検出部により検出する。この検出部は、2個のトランスデューサを用いるものであり、そのナイフエッジは共通の直線上に配置され、このトランスデューサはそれぞれが表面波検出手段である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 従来の測定装置よりも誤差の少ない測定を行うことができ、例えば、従来法では精度の高い測定が不可能な柔らかい膜について、本発明では、0.1GPaの精度で弾性率を測定できた。
改善効果2 測定に用いる表面波検出手段以外の表面波検出手段を測定対象物の表面から離間して測定するようにしたので、さらに測定誤差を抑制することができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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