レーザープラズマ発生方法及び装置

開放特許情報番号
L2004009045
開放特許情報登録日
2004/12/24
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2003-080378
出願日 2003/3/24
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-288517
公開日 2004/10/14
登録番号 特許第4264505号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 レーザープラズマ発生方法及び装置
技術分野 電気・電子、機械・加工、その他
機能 材料・素材の製造、環境・リサイクル対策、その他
適用製品 レーザープラズマ発生装置
目的 周囲の固体から十分に離れた場所に、十分に高い密度で、デブリを環境にまき散らさないで、固体材料を供給する手法を提供する。
効果 微粒子集合体をプラズマ発生用真空容器に導く前に、超微粒子を含む液滴の溶媒を蒸発させることで、プラズマ発生用真空容器内の真空度の劣化を防ぐことができる。
技術概要
本発明のレーザープラズマ発生方法は、レーザーを物質に照射して得られるプラズマから輻射線を発生させる方法であり、物質は多数の超微粒子が凝集した粒子集合体であり、分子間力や帯電による凝集あるいは超微粒子の融点以下で気化する材料を凝集剤とすることを特徴とする。図に示すように微粒子濃度を高めた微粒子集合体8を、プラズマ発生用真空容器9に供給するために、レーザー6で液滴5を加熱し、溶媒7を蒸発させ、液滴を安定に生成するための大量の溶媒を予め蒸発させた上でプラズマ発生用真空容器9に供給することで、真空容器9の真空度の低下が抑制でき、高濃縮化後の微粒子集合体8の直径は数十μmになる。微粒子集合体8は、溶媒が完全に蒸発した後も、分子間力及び帯電による凝集力で凝集させられる。図は液滴の溶媒を蒸発させ、微粒子濃度を濃縮し、微粒子集合体を生成することを説明する図である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 超微粒子を溶解した溶液を液滴化し、溶媒を蒸発させて濃縮化して、微粒子集合体を生成することで、kHzを越える高繰り返し供給と、プラズマ生成領域への高精度のガイディングが可能になる。
改善効果2 微粒子集合体をプラズマ発生用真空容器に導く前に、超微粒子を含む液滴の溶媒を蒸発させることで、プラズマ発生用真空容器内の真空度の劣化を防ぐことができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT