酸化珪素材料の物理的加工方法及び接合方法

開放特許情報番号
L2004008649
開放特許情報登録日
2004/11/12
最新更新日
2008/11/21

基本情報

出願番号 特願2003-038107
出願日 2003/2/17
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-243500
公開日 2004/9/2
発明の名称 酸化珪素材料の延性加工方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 石英ガラス、ケイ酸アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、カリ石灰ガラス、鉛ガラス、バリウムガラス、ホウケイ酸ガラス
目的 ガラス等の酸化珪素材料のクラックを発生させることのない実用的な物理的加工方法及び接合方法の提供。
効果 物理的加工を施すことの困難であった酸化珪素材料に対し、クラックを生じることなく、容易に延性加工等の物理的加工を施すことができる。また、接合の困難であった酸化珪素材料を、クラックを生じることなく、強固に接合させることができる。
技術概要
この技術では、酸化珪素材料に物理的加工を施す場合、先ず、材料に対して電子ビームを照射して帯電させ、軟化させる。即ち、酸化珪素材料の表面に電子ビームを照射すると、材料は帯電した状態となり、材料形状を保持したまま軟化する。ここで、電子ビーム加速電圧は100〜200kVである。また、ビーム電流の電子密度は、特に制約されないが、通常、80pA/cm↑2以下である。次に、軟化した材料に対して、物理的加工を施す。この場合の物理的加工においては、材料が軟化状態にあることから、クラックの発生を防止して、容易かつ高精度で行うことができる。物理的加工には、延性加工等が包含され、加工のスケールも、ナノメートルスケールの微少量の加工でも、大面積加工でも、特に制約されない。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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