球形圧子の押し込み深さ測定方法及びその装置

開放特許情報番号
L2004008630
開放特許情報登録日
2004/11/12
最新更新日
2015/9/15

基本情報

出願番号 特願2003-046635
出願日 2003/2/24
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-257775
公開日 2004/9/16
登録番号 特許第3851952号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 球形圧子の押し込み深さ測定方法及びその装置
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 サファイア、ルビー、透明球体
目的 球形圧子の変位量を高精度に計測する方法及び装置の提供。
効果 球レンズの移動量と光パワーの関係のうち、線形関係にある領域を利用し、球形圧子そのものの変位量を直接計測することができる。又、球圧子と保持治具とのすき間や保持治具のたわみなどに起因する真の変位と分離すべき非本質的な変位を排除することにより、圧子の変位計測の精度を向上させることができる。
技術概要
この技術では、1つの透明球体を球形圧子及びレーザのカップリング(結合)レンズとして使用し、透明球体をレーザの光源と受光センサーの光軸に配置し、試験試料とレーザ放射面とレーザ受光面を固定し、試料表面に球形圧子を圧入させるために透明球体を変位させ、球レンズとレーザ光線との光結合軸に軸ずれを生じさせることにより受光センサーで計測される光パワーを増減させ、球レンズの移動量と光パワーの関係のうち線形関係にある領域を利用し、光パワーから換算される変位量により球形圧子の変位量を計測する。ここで、球レンズとして、被圧入試料の硬さ、弾性率(ヤング率)の値よりも充分に高い値を有し、かつ、用いるレーザの波長域で透明である材質のものを用いる。即ち、球レンズが、サファイア又はルビーである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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