炭化水素系有機薄膜からなる潤滑剤及び潤滑方法

開放特許情報番号
L2004008368
開放特許情報登録日
2004/10/22
最新更新日
2006/5/12

基本情報

出願番号 特願2004-206566
出願日 2004/7/13
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2006-028273
公開日 2006/2/2
発明の名称 炭化水素系有機薄膜からなる潤滑剤及び潤滑方法
技術分野 有機材料
機能 材料・素材の製造、表面処理
適用製品 超高密度記録装置、精密位置決め機構、精密搬送装置などの微小機械の摺動要素
目的 固体表面上に、硬質膜などの表面改質膜を形成させこれを大気に暴露させずにその上に炭化水素系の潤滑剤分子を固定させて、有機薄膜の潤滑剤を得る。
効果 炭化水素系有機薄膜の潤滑剤を強固に固体表面上に固定し、潤滑油の離脱を防止出来る。
技術概要
(A)カーボン、シリカ、ガラス、金属などの固体基板の上に、(B)化学気相蒸着法などで、チタンカーボン、シリコンカーバイド、酸化シリコンセラミックス系改質膜などの硬質膜や、銀、金などの軟質膜などをコーティングさせて、表面改質膜とさせる。これを大気に暴露させることなく、その膜の上に(C)真空蒸着などの化学蒸着法、スパッタリングなどの物理蒸着法などで、R−Xで表される炭化水素系有機化合物の薄膜を形成させる。Rは炭素数1〜18の含炭素基(例えば、アルキル、シクロアルキル、アルケニル、アリール)でXは固体表面に結合し得る基、元素(例えば、ハイドロキシル基、カルボキシル基、アルコキシル基、ハロゲン元素、メルカプト基)などで、真空装置内で、圧力を10↑(−1)〜10↑(−4)Paとして、1層〜数分子層を固定させるのが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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