金属ナノワイヤ製造法及び金属ナノワイヤ製造用前駆体

開放特許情報番号
L2004008169
開放特許情報登録日
2004/9/17
最新更新日
2015/9/14

基本情報

出願番号 特願2003-017858
出願日 2003/1/27
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-223693
公開日 2004/8/12
登録番号 特許第3994156号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 金属ナノワイヤ製造法及び金属ナノワイヤ製造用前駆体
技術分野 金属材料、無機材料、化学・薬品
機能 材料・素材の製造、表面処理、その他
適用製品 金属ナノワイヤ、金属ナノワイヤ製造用前駆体
目的 任意の直径及び長さの金属ナノワイヤを連続的に形成させる製造方法を提供する。
効果 金属ナノワイヤを長さに制限なく連続的に製造することができ、その伸長させる方向も自由であり、製造条件の制御により目的の直径を有する金属ナノワイヤを効率良く製造できる。
技術概要
本発明の金属ナノワイヤの製造方法は、金属ナノワイヤ製造用前駆体1に対し、前駆体表面にプローブ2の先端部から印加電圧又は電流を作用させプローブ先端部で金属ナノワイヤ5をひき出し、金属ナノワイヤ5を連続的に形成することを特徴とする。プローブ2を金属ナノワイヤ製造用前駆体1の表面から離して立体的に移動させプローブ軌道に追随して金属ナノワイヤ5を形成させ、この際プローブ2への印加電圧とプローブ2の移動速度との少なくとも一方を制御して所定の直径の金属ナノワイヤ5を得ることを特徴とする。図の(a)、(b)は金属ナノワイヤ形成を説明する模式図であり、(a)は金属ナノワイヤ形成開始時、(b)は金属ナノワイヤ形成中の状態を示す。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 金属ナノワイヤを長さに制限なく連続的に製造することができ、その伸長させる方向も自由であり、製造条件の制御により、目的の直径を有する金属ナノワイヤを効率良く製造することができる。
改善効果2 長さ数十ミクロン以上の金属ナノワイヤを容易に製造できるため、電子デバイスのナノメートルスケールでの配線などを高効率的かつ経済的に行うことができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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